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金屬走線下做多晶硅條 |
| 作者：spus 欄目：集成電路 |
一個(gè)多晶硅電阻陣列，里面走的長金屬連線下面做了與金屬連線等寬的多晶硅條并懸空。請(qǐng)問這樣做的目的是什么？是否對(duì)減小相鄰電阻之間的失配有幫助？ 另外，一般都有那些工藝措施可以減小電阻陣列各電阻之間的失配？ 謝謝！！ |
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| 作者： spus 于 2005/12/24 10:45:00 發(fā)布：
上傳示意圖 請(qǐng)大家?guī)兔纯?) http://file.21ic.com.cn/upload/img/200511/2005122410495388429.jpg |
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