離子注入原理及分析
出處：davidli88 發(fā)布于：2007-04-29 10:14:48
課程內(nèi)容：
1 離子注入及其原理
1.1 離子注入摻雜
1.2 離子注入設(shè)備及工作原理
1.3 離子注入的雜質(zhì)分布曲線
2 晶格損傷及處理
2.1 晶格損傷
2.2 晶格損傷的處理-退火工藝
3 離子注入優(yōu)缺點(diǎn)
3.1 離子注入優(yōu)點(diǎn)
3.2 離子注入缺點(diǎn)
4 離子注入的應(yīng)用
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