1 光刻前的準(zhǔn)備工作

1.1 準(zhǔn)備要求

1.2 準(zhǔn)備方法

1.2.1 光刻前待光刻片子置于干燥塔中

1.2.2 氧化片出爐后可立即送光刻工序涂膠

1.2.3 對氧化片可在涂膠前重吹段時間干氧（氧化溫度）

1.2.4 涂膠前片子置于80度烘箱中烘30分鐘

2 涂膠

2.1 涂膠的要求

2.2 涂膠的方法

2.2.1 旋轉(zhuǎn)涂膠法

2.2.2 噴涂法

2.2.3 浸涂法

3 前烘

3.1 前烘要求

3.2 前烘的方法

3.2.1 在80度烘箱中烘15分鐘-20分鐘

3.2.2 在紅外烘箱中烘3分鐘-5分鐘

4 曝光

4.1 曝光的要求

4.2 曝光的方法

5 顯影

5.1 顯影的要求

5.2 顯影的方法

6 堅膜

6.1 堅膜的要求

6.2 堅膜的方法

6.2.1 置于恒溫箱中，在180度烘30 分鐘左右

6.2.2 置于紅外烘箱中烘10分鐘左右

7 腐蝕

7.1 腐蝕的要求

7.2 腐蝕的方法

7.2.1 腐蝕二氧化硅的方法

7.2.2 腐蝕鋁電極的方法

8 去膠

8.1 去膠的要求

8.2 去膠的方法

課程重點：本節(jié)介紹了光刻工藝及對各光刻工藝步驟的要求。指出光刻工藝步驟可分為八步，每一步均有各自的工藝要求。步為光刻前的準(zhǔn)備工作，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是使襯底片表面具有干燥、疏水特性，并給出了各種待光刻襯底片的表面處理方法。第二步為涂膠工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是在襯底片表面涂敷一層粘附性良好的、厚度均勻的、致密的連續(xù)性膠膜，介紹了三種涂膠工藝的方法 。第三步為前烘工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是使膠膜中的溶劑全部揮發(fā)、膠膜保持干燥、以利于光化反應(yīng)時反應(yīng)充分，并給出了兩種前烘的工藝方法。第四步為曝光工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是使感光區(qū)的膠膜發(fā)生光化反應(yīng)、在顯影時發(fā)生溶變，介紹了常見的紫外光光刻機及其所進(jìn)行的接觸式、選擇性、紫外光曝光工藝方法。 第五步為顯影工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是在顯影液中、溶除要求去掉的膠膜部分（對負(fù)性光刻膠溶除未曝光部分，對正性光刻膠溶除已曝光部分），各類膠的顯影在本章節(jié)已作了介紹。第六步為堅膜工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是去除在顯影過程中進(jìn)入膠膜中的水分（顯影液）、 使 保留的膠膜與襯底表面牢固的粘附，介紹了兩種堅膜工藝方法。第七步為腐蝕工藝，該工藝步驟要求達(dá)到的目的是去除襯底表面無膠膜保護(hù)的薄膜層，給出了腐蝕常見的兩種薄膜層的方法、腐蝕二氧化硅時采用氫氟酸緩沖液進(jìn)行腐蝕（ 腐蝕條件是：在溫度30度 -40度下 ， 時間適當(dāng)）、腐蝕鋁時采用熱磷酸進(jìn)行腐蝕（腐蝕條件是：在溫度80度下 ， 時間適當(dāng)）。第八步為去膠工藝， 該工藝步驟要求達(dá)到的目的是去除腐蝕時起保護(hù)作用的膠膜，去膠工藝在本章節(jié)已作了介紹。

課程難點：無

基本概念：無

基本要求：要求對光刻工藝及對各光刻工藝步驟的要求非常清楚。清楚光刻前的準(zhǔn)備工作的目的和要求，知道能使襯底片表面具有干燥、疏水特性的各種方法，了解這些方法中的優(yōu)劣狀況 ，能采用適當(dāng)方法對襯底片表面進(jìn)行處理。清楚涂膠工藝的目的和要求，知道能在襯底片表面涂敷一層粘附性良好的、厚度均勻的、致密的連續(xù)性膠膜的各種方法，能在工藝制造中選擇適當(dāng)?shù)姆椒?。清楚前烘工藝的目的和要求，知道能使膠膜中的溶劑全部揮發(fā)、膠膜保持干燥、以利于光化反應(yīng)時反應(yīng)充分的各種方法，能在工藝制造中選擇適當(dāng)?shù)姆椒?。清?/SPAN>曝光工藝的目的和要求，知道能使感光區(qū)的膠膜發(fā)生光化反應(yīng)、在顯影時發(fā)生溶變的方法，知道曝光工藝的工藝設(shè)備、常見的用紫外光光刻機進(jìn)行的接觸式、選擇性、紫外光曝光工藝方法。清楚顯影工藝的目的和要求，知道能對各種膠膜進(jìn)行顯影的不同方法，能在工藝制造中選擇適當(dāng)?shù)姆椒?。清楚堅膜工藝的目的和要求，知道能去除在顯影過程中進(jìn)入膠膜中的水分（顯影液）、 使 保留的膠膜與襯底表面牢固的粘附各種方法，能在工藝制造中選擇適當(dāng)?shù)姆椒?。清楚腐蝕工藝的目的和要求，知道能去除襯底表面無膠膜保護(hù)的薄膜層各種方法（對不同的襯底表面薄膜層的腐蝕，采用不同的腐蝕液和不同的腐蝕工藝），能在工藝制造中對不同的襯底表面薄膜層選擇適當(dāng)?shù)母g方法。清楚去膠工藝的目的和要求，知道能去除腐蝕時起保護(hù)作用的膠膜各種工藝方法，能在工藝制造中對應(yīng)不同襯底表面薄膜層的性質(zhì)選擇適當(dāng)?shù)娜ツz方法。