1 光刻工藝的質(zhì)量要求

1.1 圖形完整、尺寸準(zhǔn)確、邊緣整齊、陡直

1.2 圖形內(nèi)無針孔

1.3 圖形外無小島

1.4 套合、無污染

2 光刻缺陷的影響及形成原因

2.1 光刻缺陷及影響

2.1.1浮膠及影響

2.1.2毛刺、鉆蝕及影響

2.1.3針孔及影響

2.1.4小島及影響

2.2 光刻缺陷形成的原因

2.2.1 與襯底表面狀況有關(guān)

2.2.2與光刻膠的質(zhì)量有關(guān)

2.2.3與光刻版的質(zhì)量有關(guān)

2.2.4與光刻工藝條件控制有關(guān)

課程重點(diǎn)：本節(jié)介紹了光刻缺陷及光刻缺陷的影響，討論了光刻缺陷的形成原因 。對(duì)于光刻缺陷本節(jié)給出了四種由光刻工藝產(chǎn)生的缺陷，即浮膠、毛刺與鉆蝕、針孔及小島，并對(duì)四種由光刻工藝產(chǎn)生的缺陷的存在對(duì)期間制造工藝及性能的影響進(jìn)行了討論。本節(jié)討論了光刻缺陷的形成原因，指出襯底表面狀況好壞、光刻膠的質(zhì)量好壞、光刻版的質(zhì)量好壞和光刻工藝條件控制的適當(dāng)否均會(huì)成為導(dǎo)致光刻缺陷的形成的原因 。

課程難點(diǎn)：光刻缺陷的形成與哪些襯底表面狀況的好壞有關(guān)系，什么關(guān)系。光刻缺陷的形成與哪些光刻膠質(zhì)量的好壞有關(guān)系，什么關(guān)系。光刻缺陷的形成與哪些光刻版質(zhì)量的好壞有關(guān)系，什么關(guān)系。光刻缺陷的形成與哪些光刻工藝條件控制的適當(dāng)否有關(guān)系，什么關(guān)系。

基本要求：要求了解光刻工藝實(shí)施的質(zhì)量要求。要求了解在光刻工藝實(shí)施過程中有哪些光刻缺陷的形成；知道什么是針孔、知道什么是小島、知道什么是浮膠、知道什么是毛刺與鉆蝕。知道浮膠、毛刺與鉆蝕、針孔及小島 這些光刻缺陷與哪些光刻工藝實(shí)施的因素有關(guān)。