1 常規(guī)制版工藝流程

2 制版工藝簡(jiǎn)介

2.1 原圖繪制

2.1.1 總圖繪制

2.1.2 原圖刻制

2.2 初縮

2.3 精縮兼分步重復(fù)

2.4 生產(chǎn)版的復(fù)印

課程重點(diǎn)：本節(jié)介紹了常規(guī)制版工藝。介紹了常規(guī)制版工藝的工藝流程，包括草圖繪制、總圖繪制（包含了按一定比例放大的整套光刻版的所有圖形）、原圖刻制（分刻每一塊光刻版的版圖-也稱為分圖刻制）、 初縮（將版圖縮至中等尺寸）、 精縮兼分步重復(fù)（與生產(chǎn)版完全相同尺寸）、生產(chǎn)版的復(fù)?。榱说玫介L(zhǎng)壽命的光刻版）。對(duì)常規(guī)制版工藝中幾個(gè)重要部分諸如原圖繪制、初縮、精縮兼分步重復(fù)和生產(chǎn)版的復(fù)印做了較詳細(xì)的介紹。

課程難點(diǎn)：常規(guī)制版工藝流程及其分析； 總圖繪制的定義及其所要做的工作；原圖刻制的定義及其所要做的工作；初縮的定義及其所要做的工作；精縮定義及其所要做的工作；分步重復(fù)的定義及其所要做的工作；生產(chǎn)版的復(fù)印的定義及其所要做的工作。

基本概念：

1總圖繪制-將設(shè)計(jì)圖選擇適當(dāng)?shù)姆糯蟊壤?/SPAN>100-1000倍）畫在標(biāo)準(zhǔn)方格坐標(biāo)紙上（包含各次光刻版的所有圖形）。

2原圖刻制-從總圖上描刻出各次光刻版的原圖紅膜（與實(shí)際光刻版圖相比放大了適當(dāng)?shù)姆糯蟊堵剩?/SPAN>

3 初縮-初步縮小。以各次光刻版的原圖紅膜為物，將原圖縮至中等尺寸。

4 精縮-縮小。以初縮版為物，進(jìn)行進(jìn)一步縮小照相，將版圖縮至生產(chǎn)用刻版圖的尺寸。

5 分步重復(fù)-在一塊版上制備出成千上萬(wàn)個(gè)相同光刻圖形的過(guò)程（要求版上有圖形的面積大于襯底片面積）。

6 生產(chǎn)版的復(fù)印-采用精縮版為光掩模，在鉻底版或氧化鐵底版上制備圖形與精縮版相同的生產(chǎn)版的過(guò)程。

基本要求：掌握常規(guī)制版工藝流程，能夠?qū)χ瓢婀に嚵鞒踢M(jìn)行分析。知道總圖繪制是如何定義的，清楚總圖繪制所要做的工作。知道原圖刻制是如何定義，，清楚原圖刻制所要做的工作。知道初縮是如何定義，，清楚初縮所要做的工作。知道精縮是如何定義，，清楚精縮所要做的工作。知道分步重復(fù)是如何定義，，清楚分步重復(fù)所要做的工作和分步重復(fù)后對(duì)版的圖形要求。知道生產(chǎn)版的復(fù)印是如何定義，，清楚生產(chǎn)版的復(fù)印所要做的工作。