據(jù)報(bào)道，日本DAINIPPON SCREEN MFG的半導(dǎo)體設(shè)備公司開發(fā)出了高清除附著于晶圓斜面（端面及其鄰接傾斜部分）的金屬膜的蝕刻清洗技術(shù)“Bevel Etching Chamber（BEC）”。通過采用新的晶圓夾緊裝置和處理方法等，改進(jìn)了斜面部分的蝕刻工藝。

      通過提高晶圓定位的度，可以在距離端面1～3mm的范圍內(nèi)以0.1mm單位控制蝕刻寬度。由于蝕刻的寬度便于更改，因此還能夠靈活應(yīng)對(duì)規(guī)格所容許的晶圓直徑偏差。同時(shí)，通過進(jìn)一步追求晶圓處理的均勻性，可提高每片晶圓的生產(chǎn)效率以及蝕刻工序的成品率。

　　DScreen簡介：

　　DScreen制造株式會(huì)社從事制造及銷售電子設(shè)備和部件。其產(chǎn)品包括半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的處理器，包括清洗，光阻涂布，開發(fā)設(shè)備，刻蝕，退火，剝離，和晶圓表面檢測(cè)和測(cè)量系統(tǒng)，用于平板顯示器生產(chǎn)玻璃基板表面的處理器，包括清洗設(shè)備，光致抗蝕劑涂料，揭露，開發(fā)，蝕刻，剝離；印刷電路板生產(chǎn)系統(tǒng)，包括電腦輔助制造系統(tǒng)的設(shè)備，繪圖，揭露模式測(cè)量，檢查和模式。該公司還為印刷業(yè)的設(shè)備范圍，如印前系統(tǒng)頁面化妝，修飾，輸出計(jì)算；掃描儀，電影錄音機(jī)，錄像機(jī)板為計(jì)算機(jī)直接制版，數(shù)字印刷設(shè)備，數(shù)字字體；用于臺(tái)式計(jì)算機(jī)出版以及噴墨打印機(jī)。此外，它提供了一個(gè)維護(hù)和修理服務(wù)的范圍，以及租賃，印刷和物流服務(wù)。 公司擁有主要在日本，北美，亞洲和大洋洲，歐洲。DScreen制造株式會(huì)社成立于1943年在日本京都總部。