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加速發(fā)展我國化合物半導(dǎo)體技術(shù)

出處:maychang 發(fā)布于:2007-04-29 10:42:30

近年來,移動電話、因特網(wǎng)、電子郵件、LAN(Local Area Network,局域網(wǎng))等爆炸性的普及,使人們深切地感受到21世紀(jì)多媒體信息社會的序幕已經(jīng)拉開。多媒體信息社會已靠近我們身邊。
  應(yīng)用于移動通信、通信衛(wèi)星、放送衛(wèi)星等通信系統(tǒng)對準(zhǔn)微波、微波的需求在不斷地?cái)U(kuò)大,而傳送的大容量化、超高速化以及汽車自動防撞雷達(dá)等新的需求,使毫米波的技術(shù)開發(fā)也非常盛行。這些技術(shù)進(jìn)步的就是飛躍發(fā)展的化合物半導(dǎo)體技術(shù)與硅(Si)技術(shù)的結(jié)合,當(dāng)頻率大于10GHz(微波)后,只有化合物半導(dǎo)體器件才可以勝任。化合物半導(dǎo)體器件按結(jié)構(gòu)和用途可以簡單地分為:超高速電子器件、光電器件、量子器件。
  化合物半導(dǎo)體器件中有代表性、能完美地顯示異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的超高速器件是高電子遷移率晶體管HEMT(High Electron Mobility/Transistor)和異質(zhì)結(jié)雙極晶體管HBT(Heterojunction Bipolar Transistor)。HEMT不僅可獲得超高頻、超高速,還具有低的高頻噪聲。HEMT是平面結(jié)構(gòu),而HBT是非平面結(jié)構(gòu),工藝上比HEMT難度大。
  國內(nèi)化合物半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展尚需努力
  我國的Si器件、IC等以及用它們制作的整機(jī),早已形成規(guī)模并已打入國際市場,無論是理論研究還是技術(shù)水平,不久就可以同世界發(fā)達(dá)國家如美、日相接軌。但化合物半導(dǎo)體技術(shù)的情況就顯得有些單薄了。不過,我國已經(jīng)形成了一支化合物半導(dǎo)體技術(shù)的隊(duì)伍,培養(yǎng)了一些這方面的。
  中科院半導(dǎo)體所、物理所,中科院上海冶金研究所等已能生長3英寸、性能良好的GaAs基片,2英寸InP基片的生長技術(shù)也日趨成熟,現(xiàn)在正在生長3英寸片。另外,中科院半導(dǎo)體所已生長出性能良好的GeSi基片、SiC基片、GaN基片,并能滿足國內(nèi)器件研究和小批量生產(chǎn)的需要。
  在電子器件制作方面,近十幾年來,信息產(chǎn)業(yè)部南京55所、石家莊13所等研究機(jī)構(gòu),都制作出了HEMT等器件。因?yàn)镠BT工藝復(fù)雜,材料生長也比較麻煩,這方面的研究比HEMT要少一些。
  在光電器件方面,清華大學(xué)電子工程系集成光電子國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等單位已經(jīng)制作出了各種結(jié)構(gòu)的激光器件和其它化合物光電器件。
  上述器件中有一些已經(jīng)按照整機(jī)廠的要求,小批量投入使用??梢哉f我國化合物半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展有了長足的進(jìn)步。它的重要性和必然性正被人們逐步認(rèn)識。
  但是,目前國內(nèi)化合物半導(dǎo)體技術(shù)與發(fā)達(dá)國家相比還有一定的差距,其原因可能有以下幾點(diǎn):
  一、社會上對化合物半導(dǎo)體技術(shù)的重要性和必然性認(rèn)識不足;
  二、對化合物技術(shù)發(fā)展的近期、中期、長期規(guī)劃考慮不足;
  三、從事化合物半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā)的單位少,缺少大企業(yè)強(qiáng)有力地介入與支持;
  四、國家對化合物半導(dǎo)體技術(shù)的投資力度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠;
  五、缺乏一流的研究人才;
  六、缺乏對化合物半導(dǎo)體基礎(chǔ)理論的研究;
  七、化合物半導(dǎo)體技術(shù)從材料、器件到應(yīng)用,水平都跟不上發(fā)展的需要;
  八、現(xiàn)有的布局形成不了生產(chǎn)能力,無法進(jìn)入市場。
  值得借鑒的日本半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展模式
  相比之下,日本半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展模式應(yīng)有不少值得我們借鑒的地方。
  日本半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展往往采用以下模式:
 ?、僦贫ㄊ澜缢疁?zhǔn)的近期、中期、遠(yuǎn)期規(guī)劃,一般每5年、10年就有一個(gè)大的目標(biāo),如“家庭網(wǎng)絡(luò)”、“第三、四代手機(jī)”、“ITS系統(tǒng)”等等;
 ?、谠诳傮w規(guī)劃制定的同時(shí),也制定相關(guān)的子規(guī)劃。方向性、基礎(chǔ)性的關(guān)鍵器件,提前5—10年做技術(shù)準(zhǔn)備。如從上一世紀(jì)80年代就開始研究HBT、HEMT的相關(guān)技術(shù),而InP基材料及InP基器件早在上一世紀(jì)90年代就有相當(dāng)數(shù)量的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行這方面的研究。而化合物量子器件的基石——量子阱、量子線、量子點(diǎn),在上一世紀(jì)的90年代初就投入了大量的人力、物力、財(cái)力進(jìn)行技術(shù)準(zhǔn)備。這樣才能確保整機(jī)目標(biāo)按時(shí)、按期實(shí)現(xiàn),并為整機(jī)很快走向市場打下強(qiáng)有力的基礎(chǔ)。
  ③大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和大公司研究機(jī)構(gòu)相結(jié)合。
  ④目標(biāo)明確、組織落實(shí)、經(jīng)費(fèi)到位。如單電子器件(SED)就有總目標(biāo)和分課題,并有總負(fù)責(zé)人和分課題帶頭人。各分課題參加的單位和人員具體、到位。各研究階段的時(shí)間劃分、任務(wù)要求明確具體,經(jīng)費(fèi)分配切實(shí)到位。
 ?、輫?yán)格執(zhí)行分階段考核制度。這是保證規(guī)劃能按時(shí)、按預(yù)先要求完成的辦法。一般階段檢查每年兩次,方式有發(fā)表論文、論文講評或交流研究。不論哪一種都與階段要求密切結(jié)合。遇到技術(shù)上的困難或經(jīng)費(fèi)上的困難,由分課題負(fù)責(zé)人協(xié)調(diào)解決。
 ?、尥顿Y力度向有應(yīng)用業(yè)績的單位傾斜。和國內(nèi)一樣,每到大規(guī)劃制定之前有關(guān)單位就要寫出各種論證,但能否幸運(yùn)地拿到大課題,既不看“面子”,也不看研究資歷,而是看你在這方面所作的應(yīng)用業(yè)績和論文水平。一旦拿到課題,經(jīng)費(fèi)就給足給夠。
  日本半導(dǎo)體發(fā)展中有幾次意義重大的“大戰(zhàn)役”:首先是Si單晶的生長;然后是計(jì)算器大戰(zhàn),戰(zhàn)到世界計(jì)算器市場幾乎全被日本所占領(lǐng);接下來就是微機(jī)的邏輯電路存儲器,使日本成為半導(dǎo)體微觀世界的強(qiáng)國。日本人自己認(rèn)為,日本經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和國力的強(qiáng)大得力于電子技術(shù)。日本戰(zhàn)后經(jīng)濟(jì)的飛速膨脹,一條重要原因就是電子立國。每個(gè)國家的發(fā)展模式應(yīng)當(dāng)由各自的國情來決定。但是,外國的好經(jīng)驗(yàn)、人類共同的智慧結(jié)晶,我們都應(yīng)該接受并結(jié)合本國的國情,變?yōu)樽约旱臇|西,為自己國家的發(fā)展服務(wù)。
  化合物半導(dǎo)體器件朝高頻高速發(fā)展
  隨著現(xiàn)代通訊技術(shù)的高速發(fā)展,對器件的頻率和速度的要求將會越來越高。顯然,數(shù)十GHz的頻率已不能滿足發(fā)展的需求,數(shù)百GHz、甚至THz和高功率的要求將會越來越迫切。從實(shí)用化的觀點(diǎn)來看,搞清通信器件工作不穩(wěn)定、性能時(shí)間性的量化原因是非常必要的。今后提高器件的頻率一方面要從尺寸的縮短、尋找新的小尺寸的制作方法入手,如目前美國貝爾實(shí)驗(yàn)室就利用高分子物質(zhì)的特點(diǎn),不用常規(guī)的昂貴的電子束、離子束來曝光,已經(jīng)可以做出幾nm的構(gòu)造來;另一方面,提高電子遷移率(開發(fā)性能優(yōu)良的新化合物材料)也能達(dá)到這樣的目標(biāo)。人們還渴求著從器件的工作原理出發(fā),研究出新的工作機(jī)理,以在頻率的提高上能有較大的突破。
  電子器件和量子器件優(yōu)良的電性能和新機(jī)能,促進(jìn)了各類整機(jī)的發(fā)展;反過來整機(jī)性能的新要求和普及,又促進(jìn)了器件的發(fā)展和性能的提高。它們就是這樣的相互推動,將人類帶入更高的文明。
  新材料、新工藝、新原理,信息通信的多樣化、大容量、超高速,將信息技術(shù)推向了一個(gè)更高的水平。21世紀(jì)在量子計(jì)算機(jī)、量子情報(bào)通信理論等方面將會有一個(gè)劃時(shí)代的突破,使多媒體信息社會更加豐富多彩?!吨袊娮訄?bào)》2001.10.26 文/謝永桂


  
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