采用RF/RF C-V的顧慮
出處:qbhappy 發(fā)布于:2007-04-29 10:35:24
不可靠的測試會(huì)阻礙生產(chǎn)管理。好器件的壞測量結(jié)果被稱為alpha錯(cuò)誤。在生產(chǎn)中,這可能意味著有晶圓被誤廢棄。讓人誤解的ITRS信息,以及許多公司在他們的建模實(shí)驗(yàn)室經(jīng)歷緩慢、艱苦的過程,這些結(jié)合起來都使得工程師不情愿采用量產(chǎn)RF測試,他們認(rèn)為會(huì)有高的alpha錯(cuò)誤率。
人們還認(rèn)識(shí)到生產(chǎn)能力和運(yùn)營成本將是不可接受的,而且還需要高水準(zhǔn)的技術(shù)支持來解釋測量結(jié)果。沒有可靠的校準(zhǔn)、以及接觸電阻問題所帶來的重復(fù)測試,造成了早期的RF系統(tǒng)的低生產(chǎn)能力。過去舊系統(tǒng)的校準(zhǔn)并不是對(duì)不同的測量頻率配置都有效。高的運(yùn)營成本還與手動(dòng)測試黃金標(biāo)準(zhǔn)校正片有關(guān)系,它用的是軟墊和昂貴的RF探針,這種探針會(huì)由于過度壓劃而很快壞掉,從而成本大增。市場上還有一種錯(cuò)誤的理解,認(rèn)為晶圓級(jí)的s參數(shù)測試需要專門的探針和卡盤。
生產(chǎn)中關(guān)于RF測試需要額外關(guān)注的方面:
● 需要改變大量的測試結(jié)構(gòu)。
● 結(jié)果不穩(wěn)定,隨設(shè)備、人和時(shí)間的變化而發(fā)生變化。
● RF必須照顧呵護(hù)每一臺(tái)設(shè)備。
● 對(duì)于不同的批次可能需要完全不同的處理和操作流程。
● 懷疑這是否能夠成為實(shí)時(shí)技術(shù)。
● 實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的結(jié)果不可靠。
fab在這些認(rèn)知的基礎(chǔ)上仍然維持現(xiàn)狀,像"瞎蒼蠅"一樣進(jìn)行著RF芯片、新柵極材料和其他先進(jìn)器件的設(shè)計(jì)和工藝開發(fā)。結(jié)果是設(shè)計(jì)與工藝的相互作用,大大增加了成本和走向市場的時(shí)間,同時(shí)還伴隨著更低的初始良率。
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