課程內(nèi)容：

1 器件進(jìn)行表面鈍化的必要性

1.1 早期制造的器件電性能的劣化現(xiàn)象

1.1.1 劣化現(xiàn)象

1.1.2 導(dǎo)致器件失效的主要參數(shù)

1.2 器件電性能劣化的原因在器件表面

2 表面鈍化及其發(fā)展

2.1 表面鈍化及表面鈍化工藝

2.2 表面鈍化的發(fā)展

2.2.1 表面鈍化工藝的發(fā)展

2.2.2表面鈍化理論的發(fā)展

課程重點(diǎn)：本節(jié)討論了表面鈍化、表面鈍化工藝、表面鈍化理論。首先介紹了在器件制造的早期，器件的性能劣化現(xiàn)象十分嚴(yán)重，電老化后的失效率高達(dá)百分之六十以上；而導(dǎo)致失效的主要參數(shù)是漏電流變大、電流放大系數(shù)變低、擊穿電壓蠕變。對器件的結(jié)構(gòu)分析和對失效參數(shù)的分析可知， 器件電性能劣化的原因在器件表面； 在器件制造的早期，表面無強(qiáng)勁的保護(hù)措施， 器件表面極易受到周圍氣氛的影響、 極易受到周圍雜質(zhì)氣氛的沾污、 極易與周圍化學(xué)氣氛發(fā)生反應(yīng)；這些導(dǎo)致了器件表面能態(tài)發(fā)生變化、導(dǎo)致了器件電學(xué)性能發(fā)生變化、導(dǎo)致了器件電性能穩(wěn)定性和可靠性都很差。本節(jié)介紹了表面鈍化及其發(fā)展。介紹了表面鈍化和表面鈍化工藝的定義，指出實(shí)施表面鈍化工藝對器件電性能的影響；介紹了表面鈍化的發(fā)展，指出表面鈍化的發(fā)展包含表面鈍化工藝的發(fā)展和表面鈍化理論的發(fā)展；而正是表面鈍化工藝的發(fā)展促進(jìn)了表面鈍化理論的發(fā)展；使表面鈍化理論發(fā)展為器件表面分析理論和表面鈍化工藝的工藝鈍化理論兩個(gè)分支

課程難點(diǎn)：器件電性能劣化的現(xiàn)象，器件電性能劣化現(xiàn)象與器件表面狀態(tài)的關(guān)系。表面鈍化的發(fā)展含義及內(nèi)容。

基本概念：

1 鈍化-使化學(xué)性能遲鈍、不易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

2 活化-使化學(xué)性能活潑、易于發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

3器件表面鈍化-使器件表面不受外界影響的實(shí)施過程。

4 表面鈍化工藝-去除表面缺陷、改善表面特性、形成器件表面保護(hù)膜的工藝。

基本要求：要求知道器件電性能劣化的現(xiàn)象，清楚導(dǎo)致道器件電性能劣化的各種電參數(shù)，了解器件電性能劣化現(xiàn)象與器件表面狀態(tài)的關(guān)系；要求知道鈍化、器件表面鈍化、表面鈍化工藝的定義，清楚器件表面鈍化實(shí)施對期間電性能帶來好處。要求清楚表面鈍化的發(fā)展含義及內(nèi)容；知道表面鈍化工藝的發(fā)展經(jīng)歷了哪些過程、現(xiàn)實(shí)狀況如何；知道表面鈍化理論的發(fā)展經(jīng)歷了哪些過程、現(xiàn)實(shí)狀況如何；清楚的知道表面鈍化理論的發(fā)展與表面鈍化工藝發(fā)展的關(guān)系。