由于傳統(tǒng)的大批量生產(chǎn)的方式不能適應(yīng)小批量、多品種、短周期經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)的要求，許多半導(dǎo)體廠家、大學(xué)和研究部門都在為半導(dǎo)體制造的柔性化和計算機(jī)集成制造(CIM)控制開辟新的途徑，因此，模擬工廠、可編程工廠等應(yīng)運(yùn)而生。
1)．模擬工廠
它是以各種不同層次的計算機(jī)模擬(例如：工藝、設(shè)備、器件、電路及生產(chǎn)線)為基礎(chǔ)來完成工廠中設(shè)計和制造加工的快速產(chǎn)生試樣的軟件環(huán)境。它們可以被用來設(shè)計工藝流程、評估工藝的可能性，使工廠生產(chǎn)率達(dá)到化，預(yù)測產(chǎn)品的出廠時間，另外還有許多其他功能。

2)．可編程工廠
它基本上是用計算機(jī)控制的設(shè)備來裝備柔性化工廠，可用各種軟件對工藝、設(shè)備和生產(chǎn)操作程序進(jìn)行快速編程和重新組合?？删幊坦S的基礎(chǔ)就是廣泛應(yīng)用CIMS(計算機(jī)集成制造系統(tǒng))的新一代柔性多功能設(shè)備。這種設(shè)備能快速處理一個半導(dǎo)體晶片，就地完成多個工藝步驟，單片處理也便于實現(xiàn)現(xiàn)場和實時監(jiān)控。這種工藝設(shè)備是模塊式的，具有普通的機(jī)械和電子接口，模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化的設(shè)備可減少技術(shù)升級所必需的設(shè)備數(shù)量和資金。而CIMS可用來制定規(guī)范、進(jìn)行監(jiān)控和信息管理，它能在時間和可靠性兩者之間進(jìn)行折衷，并可安排和跟蹤工廠中同時運(yùn)行的許多不同產(chǎn)品，使工廠的設(shè)備利用率。

3)．柔性制造技術(shù)
指的是具有對生產(chǎn)條件變化或新環(huán)境及時作出響應(yīng)能力的生產(chǎn)過程。其柔性主要表現(xiàn)在：①生產(chǎn)設(shè)備的零件、部件可根據(jù)所加工產(chǎn)品的需求變換；②對加工產(chǎn)品的批量可平衡地作出重大而迅速的調(diào)整；③可對加工產(chǎn)品的性能參數(shù)作出迅速變換井及時投入生產(chǎn)；④可迅速而有效地綜合應(yīng)用新技術(shù)；⑤對用戶、貿(mào)易伙伴和供應(yīng)商的需求變化迅速作出反應(yīng)。