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從4寸爐管到6寸爐管的工藝設(shè)定 |
| 作者：sjxiaoxi99 欄目：集成電路 |
我們公司搞晶圓代工的，4寸廠，現(xiàn)在投資搞了一條6寸的生產(chǎn)線，現(xiàn)在 要做工藝的setup。 我想請(qǐng)問的是：比如氧化爐管，如果用4寸爐管的菜單作為參考，移到 6寸管時(shí)需要考慮哪些因素？氣體流量設(shè)定的依據(jù)是什么？ 哪位同仁可以說說阿，或者這方面的資料哪里可以找到，謝了先！。 |
| 2樓： | >>參與討論 |
| 作者： sjxiaoxi99 于 2005/12/5 16:59:00 發(fā)布：
拜托各位！ 哪位仁兄可以說說嗎？ 現(xiàn)在一點(diǎn)頭緒都沒有。 |
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