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有做過ION-ETCH的進(jìn)來 |
| 作者：gt501 欄目：集成電路 |
最近接觸到一臺二手電子束蒸發(fā)臺,帶了一臺ION-ETCH,型號是IBS-250, 廠家是COMMON WEALTH.說明書沒了. SOURCE 和BEAM 怎么工作?哪個(gè)先加. "PLZ ACK ACCL"報(bào)錯(cuò)是什么意思 最好,能給個(gè)典型的參數(shù). 謝謝 |
| 2樓： | >>參與討論 |
| 作者： gt501 于 2005/3/30 21:51:00 發(fā)布：
aaa 補(bǔ)充一下,用ION-ETCH 主要是清潔襯底用的,稍微腐蝕10nm,就夠了. |
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