MEMS傳感器主要用來提供無人機的穩(wěn)定控制和輔助導航。無人機之所以能懸停，可以做空拍，是因為MEMS傳感器可以檢測無人機在飛行過程中的俯仰角和滾轉角變化，在檢測到角度變化后，就可以控制馬達向相反的方向轉動，進而達到穩(wěn)定的效果。

    至于用MEMS傳感器測量角度變化，一般要選擇組合傳感器，既不能單純依賴加速度計，也不能只使用陀螺儀，這是因為每種傳感器都有一定的局限性。
    例如陀螺儀輸出的是角速度，要透過積分才能獲得角度，但是即使在零輸入狀態(tài)時，陀螺依然是有輸出的，它的輸出是白色雜訊和慢變隨機函數(shù)的疊加，因此，在積分的過程中，必然會引進累計誤差，積分時間越長，誤差就越大。
    這就需要加速度計來校正陀螺儀，因為加速度計可以利用力的分解原理，透過重力加速度在不同軸向上的分量來判斷傾角。由于沒有積分誤差，所以加速度計在相對靜止的條件下可以校正陀螺儀的誤差。但在運動狀態(tài)下，加速度計輸出的可信度就會下降，因為它測量的是重力和外力的合力。較常見的演算法就是利用互補濾波，結合加速度計和陀螺儀的輸出來算出角度變化。