雙極工藝光電二極管
出處:again_gyf 發(fā)布于:2008-12-01 14:22:58
圖1中給出了一種基于標準雙極工藝的N+-p型光電二極管[36],其中的N+區(qū)是由N+埋層以及插入的N+集電極注入形成,P區(qū)則是直接利用輕摻雜的P型襯底。圖中N+區(qū)與P+區(qū)的間距為5 gm,N+區(qū)的面積被定義為光電探測器的面積。

圖1 雙極工藝N+-P型光電二極管
這種結構能夠高效地進行光電轉換,在外加偏壓為雙極電路工作電壓(4.2 V)時的量子效率η=30%°但是由于受前面敘述的耗盡區(qū)外光生載流子緩慢擴散的影響,其響應速度較慢。該探測器與一跨阻抗為1.8 kΩ的雙極型前置放大器單片集成,當探測器面積為100×100μm2,入射光波長/1=850 nm時,可以測得開眼圖比特率達到150 Mb/s。當N+區(qū)的面積減小到10×10 llm'時,該光電二極管的瞬態(tài)特性將得到顯著改善,入射光波長肛8⒛nm時,上升時間和下降時間分別為40 ps和400 ps。根據節(jié)論述的保守的數(shù)據率估計式DR=1/3f(,這種指標的探測器可以實現(xiàn)850 Mb/s的數(shù)據傳輸能力。
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