工藝化學(xué)品污染
出處：tyw 發(fā)布于：2007-04-29 10:15:49
在制造工廠中，用于刻蝕和清洗晶圓和設(shè)備的酸、堿、溶劑必需是純度的。涉及的污染物有金屬離子微粒和其它化學(xué)品。與水不同的是，工藝化學(xué)品是采購來的，直接運(yùn)輸?shù)焦S后使用。工業(yè)化學(xué)品分不同級別，他們分一般溶劑、化學(xué)試劑、電子級和半導(dǎo)體級。前兩種對于半導(dǎo)體使用來說過臟，電子級與半導(dǎo)體級相對潔凈些，但不同制造商所生產(chǎn)化學(xué)品的潔凈度也是不同的。
圖 5.21 典型去離子水系統(tǒng)
Purity Water純水
Particle Prefilter 顆粒前過濾器
Reverse Osmosis Demineralizer反滲透去微粒器
Primary Demineralizer主要去微粒器
N2氮?dú)?/SPAN>
Storage Tank存儲罐
Polishing Demineralizer去微粒器
Ultraviolet Sterilizer紫外線殺菌
Final Filter終過濾器
Process Area工藝區(qū)
Recycle Loop再循環(huán)回路
Acid Neutralization酸中和
Drain排水
象SEMI這樣的商業(yè)組織為整個行業(yè)建立了潔凈度的規(guī)格，但是大多數(shù)半導(dǎo)體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)格采購化學(xué)品。化學(xué)品的主要污染是移動的金屬離子，通常須限制為百分之一（ PPM）級或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級的化學(xué)品，含量僅僅十億分之一。微粒過濾器的級別被規(guī)定為0.2微米或更低。
化學(xué)品的純度由成份來表示。成份數(shù)就是指容器內(nèi)所含化學(xué)品的百分?jǐn)?shù)。例如，一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。
把化學(xué)品傳輸至工藝加工區(qū)域不只包括保持化學(xué)品的潔凈，還包括對容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標(biāo)識牌，并在運(yùn)輸前把瓶放置化學(xué)品袋中。化學(xué)品瓶現(xiàn)只用于老式、技術(shù)較低的制造廠中。
許多公司采用大量購入方式買入潔凈工藝化學(xué)品，然后倒入小罐中，并通過管道從中央系統(tǒng)傳入工藝工作臺，或者從小瓶直接傳輸?shù)焦に嚬ぷ髋_。大量化學(xué)品傳輸系統(tǒng)（BCDS）可以提供更潔凈的化學(xué)品且費(fèi)用較低。另外特別要注意定期清潔管道和運(yùn)輸瓶來防止污染。另一個特殊問題是當(dāng)把化學(xué)品倒入另一種化學(xué)品瓶中時會產(chǎn)生交互污染。每種化學(xué)品的化學(xué)品瓶應(yīng)專用。---
有幾種技術(shù)可以同時滿足更潔凈的化學(xué)品、更嚴(yán)格的工藝控制和較低的費(fèi)用。其中一種是點(diǎn)使用（POU）化學(xué)品混合器（BCDS的另一版本）。這種裝置連接在濕洗柜或自動機(jī)械上，混合化學(xué)品后把他們送到工藝罐中。另一種就是化學(xué)品再加工系統(tǒng)，這種裝置設(shè)于濕工藝工作臺的排水系統(tǒng)中。去除離子的化學(xué)品被再過濾或者在某些情況下需再加入離子重新使用。重要的“再利用刻蝕器”要接上過濾器以保證為晶圓提供潔凈的化學(xué)品源。一種更新的工藝是點(diǎn)使用化學(xué)品再生（POUCG）。例如氨水，氫氟酸和過氧化氫這些化學(xué)品是由相應(yīng)的氣體與去離子水在工藝工作臺混合而成，這種方法可以減少化學(xué)品包裝與運(yùn)輸時所產(chǎn)生的污染，可制造出萬億(ppt)級的化學(xué)品。19
圖 5.21 典型去離子水系統(tǒng)
Purity Water純水
Particle Prefilter 顆粒前過濾器
Reverse Osmosis Demineralizer反滲透去微粒器
Primary Demineralizer主要去微粒器
N2氮?dú)?/SPAN>
Storage Tank存儲罐
Polishing Demineralizer去微粒器
Ultraviolet Sterilizer紫外線殺菌
Final Filter終過濾器
Process Area工藝區(qū)
Recycle Loop再循環(huán)回路
Acid Neutralization酸中和
Drain排水
象SEMI這樣的商業(yè)組織為整個行業(yè)建立了潔凈度的規(guī)格，但是大多數(shù)半導(dǎo)體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)格采購化學(xué)品。化學(xué)品的主要污染是移動的金屬離子，通常須限制為百分之一（ PPM）級或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級的化學(xué)品，含量僅僅十億分之一。微粒過濾器的級別被規(guī)定為0.2微米或更低。
化學(xué)品的純度由成份來表示。成份數(shù)就是指容器內(nèi)所含化學(xué)品的百分?jǐn)?shù)。例如，一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。
把化學(xué)品傳輸至工藝加工區(qū)域不只包括保持化學(xué)品的潔凈，還包括對容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標(biāo)識牌，并在運(yùn)輸前把瓶放置化學(xué)品袋中。化學(xué)品瓶現(xiàn)只用于老式、技術(shù)較低的制造廠中。
許多公司采用大量購入方式買入潔凈工藝化學(xué)品，然后倒入小罐中，并通過管道從中央系統(tǒng)傳入工藝工作臺，或者從小瓶直接傳輸?shù)焦に嚬ぷ髋_。大量化學(xué)品傳輸系統(tǒng)（BCDS）可以提供更潔凈的化學(xué)品且費(fèi)用較低。另外特別要注意定期清潔管道和運(yùn)輸瓶來防止污染。另一個特殊問題是當(dāng)把化學(xué)品倒入另一種化學(xué)品瓶中時會產(chǎn)生交互污染。每種化學(xué)品的化學(xué)品瓶應(yīng)專用。---
有幾種技術(shù)可以同時滿足更潔凈的化學(xué)品、更嚴(yán)格的工藝控制和較低的費(fèi)用。其中一種是點(diǎn)使用（POU）化學(xué)品混合器（BCDS的另一版本）。這種裝置連接在濕洗柜或自動機(jī)械上，混合化學(xué)品后把他們送到工藝罐中。另一種就是化學(xué)品再加工系統(tǒng)，這種裝置設(shè)于濕工藝工作臺的排水系統(tǒng)中。去除離子的化學(xué)品被再過濾或者在某些情況下需再加入離子重新使用。重要的“再利用刻蝕器”要接上過濾器以保證為晶圓提供潔凈的化學(xué)品源。一種更新的工藝是點(diǎn)使用化學(xué)品再生（POUCG）。例如氨水，氫氟酸和過氧化氫這些化學(xué)品是由相應(yīng)的氣體與去離子水在工藝工作臺混合而成，這種方法可以減少化學(xué)品包裝與運(yùn)輸時所產(chǎn)生的污染，可制造出萬億(ppt)級的化學(xué)品。19
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