晶圓制備階段
出處：Bingoes 發(fā)布于：2007-04-29 10:16:48
**礦石到高純氣體的轉(zhuǎn)變
**氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
**多晶到單晶，摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
**晶棒到晶圓的制備
半導(dǎo)體制造的個階段是從泥土里選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。提純從化學(xué)反應(yīng)開始。對于硅，化學(xué)反應(yīng)是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷。雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘渣里。硅化物再和氫反應(yīng)（圖3.1）生成半導(dǎo)體級的硅。這樣的硅的純度達99.9999999%，是地球上純的物質(zhì)之一。1它有一種稱為多晶或多晶硅（polysilicon）的晶體結(jié)構(gòu)。
**氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
**多晶到單晶，摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
**晶棒到晶圓的制備
半導(dǎo)體制造的個階段是從泥土里選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。提純從化學(xué)反應(yīng)開始。對于硅，化學(xué)反應(yīng)是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷。雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘渣里。硅化物再和氫反應(yīng)（圖3.1）生成半導(dǎo)體級的硅。這樣的硅的純度達99.9999999%，是地球上純的物質(zhì)之一。1它有一種稱為多晶或多晶硅（polysilicon）的晶體結(jié)構(gòu)。
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