晶體定向
出處:c.k 發(fā)布于:2007-04-29 10:16:48
晶面通過(guò)一系列稱(chēng)為密勒指數(shù)的三個(gè)數(shù)字組合來(lái)表示。如圖3.5有兩個(gè)簡(jiǎn)單的立方晶胞嵌套在XYZ坐標(biāo)中。兩個(gè)在硅晶圓中通常使用的晶向是<100>和<111>晶面。晶向描述成1-0-0面 和
<100>晶向的晶圓用來(lái)制造MOS器件和電路,而<111>晶向的晶圓用來(lái)制造雙極型器件和電路。砷化鎵晶體只能沿<100>晶面切割。
注意在圖3.6<100>晶面有一個(gè)正方形,而<111>晶面有一個(gè)三角形。當(dāng)晶圓破碎時(shí)這些定向會(huì)如圖3.6展現(xiàn)出來(lái)。<100>晶向的晶圓碎成四方形或正好90度角破裂。<111>晶向的晶圓碎成三角形。
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