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晶體定向

出處:c.k 發(fā)布于:2007-04-29 10:16:48

對(duì)于一個(gè)晶圓,除了要有單晶結(jié)構(gòu)之外,還需要有特定的晶向(crystal orientation)。通過(guò)切割如圖3.4的單晶塊可以想象這個(gè)概念。在垂直平面上切割將會(huì)暴露一組平面,而角對(duì)角切割將會(huì)暴露一個(gè)不同的平面。每個(gè)平面是的,不同在于原子數(shù)和原子間的結(jié)合能。每個(gè)平面具有不同的化學(xué)、電學(xué)和物理特性,這些特性將賦予晶圓。晶圓要求特定的晶體定向。
晶面通過(guò)一系列稱(chēng)為密勒指數(shù)的三個(gè)數(shù)字組合來(lái)表示。如圖3.5有兩個(gè)簡(jiǎn)單的立方晶胞嵌套在XYZ坐標(biāo)中。兩個(gè)在硅晶圓中通常使用的晶向是<100><111>晶面。晶向描述成1-0-0 1-1-1面,括弧表示這三個(gè)數(shù)是密勒指數(shù)。

<100>
晶向的晶圓用來(lái)制造MOS器件和電路,而<111>晶向的晶圓用來(lái)制造雙極型器件和電路。砷化鎵晶體只能沿<100>晶面切割。

注意在圖3.6<100>晶面有一個(gè)正方形,而<111>晶面有一個(gè)三角形。當(dāng)晶圓破碎時(shí)這些定向會(huì)如圖3.6展現(xiàn)出來(lái)。<100>晶向的晶圓碎成四方形或正好90度角破裂。<111>晶向的晶圓碎成三角形。




  
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