1.1 版圖及版圖分析

1.2 面積晶體管版圖在集成電路版圖設(shè)計(jì)中的意義

2 集成電路制造中常用的晶體管版圖圖形

2.1 常用的晶體管版圖

2.2 與常用的晶體管各版圖對(duì)應(yīng)的工藝剖圖

2.3 各種典型晶體管的結(jié)構(gòu)和電性特點(diǎn)

2.4 有關(guān)多發(fā)射極晶體管

課程重點(diǎn)：本節(jié)介紹了集成電路制造中所采用的面積晶體管版圖設(shè)計(jì)及如何實(shí)際應(yīng)用；介紹了常用的各種晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖，如單基極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)、雙基極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)、雙基極雙集電極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)以及雙發(fā)射極雙集電極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)；并討論了各種結(jié)構(gòu)晶體管的電性特點(diǎn)。還給出了多發(fā)射極晶體管的版圖結(jié)構(gòu) 。

課程難點(diǎn)：集成電路版圖設(shè)計(jì)通常是由集成電路中晶體管版圖開(kāi)始的，而該晶體管版圖通常是面積晶體管的版圖。因此，掌握什么是面積晶體管，其版圖是如何確定的非常重要。另外，掌握集成電路制造中常用的各種晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu)也是十分重要的。

基本概念：

1 面積晶體管-由圖形尺寸（圖形線寬和圖形間距）構(gòu)成的晶體管。

2 基區(qū)短路鋁條-晶體管工藝結(jié)構(gòu)的基區(qū)表面制備的鋁層，它有平衡基區(qū)電位的作用。

基本要求：了解面積晶體管的定義，熟悉面積晶體管的版圖及其相應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu)，清楚它在集成電路制造中的意義。熟悉各普通晶體管可能采用的各種版圖；能熟練的給出各種版圖及其與版圖對(duì)應(yīng)的各種工藝剖面圖。會(huì)分析各種結(jié)構(gòu)晶體管的電性能特點(diǎn)；能在集成電路設(shè)計(jì)時(shí)，根據(jù)不同要求選定不同圖形晶體管結(jié)構(gòu)。了解多發(fā)射極晶體管的版圖特點(diǎn)，以及為何選用“長(zhǎng)脖子”基區(qū)和在基區(qū)中設(shè)置短路鋁條。