集成晶體管的版圖設(shè)計(jì)
出處:水淼 發(fā)布于:2007-04-29 10:13:55
1.1 版圖及版圖分析
1.2 面積晶體管版圖在集成電路版圖設(shè)計(jì)中的意義
2 集成電路制造中常用的晶體管版圖圖形
2.1 常用的晶體管版圖
2.2 與常用的晶體管各版圖對(duì)應(yīng)的工藝剖圖
2.3 各種典型晶體管的結(jié)構(gòu)和電性特點(diǎn)
2.4 有關(guān)多發(fā)射極晶體管
課程重點(diǎn):本節(jié)介紹了集成電路制造中所采用的面積晶體管版圖設(shè)計(jì)及如何實(shí)際應(yīng)用;介紹了常用的各種晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖,如單基極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)、雙基極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)、雙基極雙集電極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu)以及雙發(fā)射極雙集電極晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖圖結(jié)構(gòu);并討論了各種結(jié)構(gòu)晶體管的電性特點(diǎn)。還給出了多發(fā)射極晶體管的版圖結(jié)構(gòu) 。
課程難點(diǎn):集成電路版圖設(shè)計(jì)通常是由集成電路中晶體管版圖開(kāi)始的,而該晶體管版圖通常是面積晶體管的版圖。因此,掌握什么是面積晶體管,其版圖是如何確定的非常重要。另外,掌握集成電路制造中常用的各種晶體管版圖及其對(duì)應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu)也是十分重要的。
基本概念:
1 面積晶體管-由圖形尺寸(圖形線寬和圖形間距)構(gòu)成的晶體管。
2 基區(qū)短路鋁條-晶體管工藝結(jié)構(gòu)的基區(qū)表面制備的鋁層,它有平衡基區(qū)電位的作用。
基本要求:了解面積晶體管的定義,熟悉面積晶體管的版圖及其相應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu),清楚它在集成電路制造中的意義。熟悉各普通晶體管可能采用的各種版圖;能熟練的給出各種版圖及其與版圖對(duì)應(yīng)的各種工藝剖面圖。會(huì)分析各種結(jié)構(gòu)晶體管的電性能特點(diǎn);能在集成電路設(shè)計(jì)時(shí),根據(jù)不同要求選定不同圖形晶體管結(jié)構(gòu)。了解多發(fā)射極晶體管的版圖特點(diǎn),以及為何選用“長(zhǎng)脖子”基區(qū)和在基區(qū)中設(shè)置短路鋁條。
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