有多種測(cè)量電容的方法。但只有運(yùn)算電容法適合自動(dòng)在線測(cè)量。應(yīng)用中使用較多的有直流充放電法和交流法。

　　從信號(hào)處理過(guò)程來(lái)看，充放電法與交流法并無(wú)本質(zhì)區(qū)別。

　　充放電法的信號(hào)處理流程如圖1。

　　圖1 充放電法的信號(hào)處理流程圖

　　交流法的信號(hào)處理流程如圖2。

　　圖2 交流法的信號(hào)處理流程

　　因此，可以將兩個(gè)電路統(tǒng)一起來(lái)。信號(hào)流程圖如圖3。

　　圖3 統(tǒng)一的測(cè)量變換電路

　　相控整流電路對(duì)輸入噪聲信號(hào)的頻譜產(chǎn)生搬移的作用。低頻噪聲成分被搬移到高頻段，高頻噪聲成分被搬移到低頻段。

　　相控整流輸出的信號(hào)將被送入到低通濾波器中處理。輸出噪聲信號(hào)中的高頻成分將被濾除掉。因此，相控整流電路輸入信號(hào)中的低頻噪聲不會(huì)對(duì)終測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生影響。而(2n-1)fc附近的噪聲將被搬移到低頻出，影響終測(cè)量結(jié)果。

　　為使測(cè)量電路有較高的分辨率，應(yīng)使輸入到相控整流電路的信號(hào)有較大的幅度，并有較高的信噪比。

　　前級(jí)放大電路，不但將信號(hào)放大，同時(shí)也引入了噪聲。放大電路引入的噪聲是由放大電路本身決定的。信號(hào)經(jīng)過(guò)處理電路后，將加入固定幅度的噪聲。因此，在輸出信號(hào)幅度一 定時(shí)，信號(hào)的信噪比與信號(hào)的平均值成正比。

　　充放電法，在施加方波激勵(lì)時(shí)，交流放大輸出的是窄脈沖，信號(hào)占空比很低。因此，信噪比也很低。其次，放大脈沖信號(hào)要較大的帶寬，高次諧波兩側(cè)的噪聲也將被相控整流器搬移到低頻段，加大了低頻噪聲。

　　交流法，使用單頻率正弦信號(hào)作為激勵(lì)。信號(hào)平均值大，因而能得到較高的輸出信噪比。同時(shí)，由于所處理的信號(hào)為單一頻率正弦信號(hào)，可以使用窄帶帶通放大器，減小放大器引入的噪聲，進(jìn)一步輸出信號(hào)的信噪比。

　　交流法測(cè)量變換電路可以得到更高的分辨率。而電路結(jié)構(gòu)并不會(huì)比充放電法復(fù)雜。因此選用交流激勵(lì)信號(hào)來(lái)構(gòu)成本測(cè)量系統(tǒng)。

　　激勵(lì)電路設(shè)計(jì)

　　激勵(lì)電路輸出固定頻率的正弦波。要求正弦波頻率、幅度、相位恒定，便于同后級(jí)相控整流驅(qū)動(dòng)信號(hào)同步，便于在大范圍內(nèi)調(diào)整與相控整流驅(qū)動(dòng)信號(hào)的相對(duì)相位。

　　本設(shè)計(jì)中，使用高、低噪聲基準(zhǔn)穩(wěn)壓源保證生成的脈沖信號(hào)幅度的穩(wěn)定。使用溫補(bǔ)振蕩器產(chǎn)生高頻高穩(wěn)定度的信號(hào)，通過(guò)分頻得高頻率穩(wěn)定度、低相位抖動(dòng)的到控制信號(hào)。然后經(jīng)過(guò)帶通濾波放大得到激勵(lì)信號(hào)輸出。

　　電壓基準(zhǔn)源的選擇

　　理想的電壓基準(zhǔn)源應(yīng)該是內(nèi)阻為零，不論電流是流進(jìn)去還是流出來(lái)，都應(yīng)當(dāng)保持輸出電壓恒定。內(nèi)阻為零的基準(zhǔn)源是不存在的，然而內(nèi)阻只有毫歐數(shù)量級(jí)的基準(zhǔn)源是可以做得到的。基準(zhǔn)源的工作原理、參數(shù)和選擇方法，對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)是一個(gè)頗為重要的因素。

　　·基準(zhǔn)源的類型

　　基準(zhǔn)源主要有齊納二極管、埋入式齊納二極管和帶隙電壓基準(zhǔn)三種。它們都可以設(shè)計(jì)成兩端并聯(lián)式電路或者三端串聯(lián)式電路。

　　齊納二極管是工作在反向偏置的二極管，需要一個(gè)串聯(lián)的限流電阻。在要求高和低功耗的情況下，齊納二極管通常是不適合的。

　　埋入式齊納二極管集成基準(zhǔn)的噪聲比帶隙式的低，長(zhǎng)期穩(wěn)定型好，溫漂小。但是輸出電壓高，大約為6~7V，需要較高的供電電壓。

　　帶隙式基準(zhǔn)的輸出電壓可以低至1V。現(xiàn)已經(jīng)有1.235V，1.25V，2.048V，2.5V，4.096V，5V的器件。

　　·電壓基準(zhǔn)源的選擇

　　選擇電壓基準(zhǔn)源時(shí)，應(yīng)當(dāng)針對(duì)系統(tǒng)的要求，綜合考慮電壓基準(zhǔn)源的技術(shù)指標(biāo)。電壓基準(zhǔn)源的技術(shù)指標(biāo)很多，主要的指標(biāo)是：初始、輸出電壓溫度漂移、提供電流以及吸入電流的能力、靜態(tài)電流、長(zhǎng)期穩(wěn)定性、輸出電壓溫度遲滯、噪聲等。

　　噪音是無(wú)法補(bǔ)償?shù)恼`差，因而基準(zhǔn)源的噪音應(yīng)當(dāng)?shù)汀?/P>

　　輸出電壓溫度遲滯現(xiàn)象(THYS)也是一個(gè)不能修正的誤差。THYS是25℃溫度下，由于溫度從熱到冷，然后從冷到熱變化時(shí)引起的輸出電壓的變化。它的幅度與溫度變化的大小成正比。在很多情況下，THYS誤差是不重復(fù)的，它與電路設(shè)計(jì)及封裝有關(guān)。

　　溫度漂移通常是可以修正的誤差，因?yàn)樗强芍貜?fù)的。高分辨率系統(tǒng)都需要補(bǔ)償。對(duì)一個(gè)5V系統(tǒng)，如果要求在整個(gè)商用溫度范圍(0～70℃，以25℃為基準(zhǔn)點(diǎn))保持±1LSB。如果基準(zhǔn)源的漂移為1ppm/℃，ΔV=1ppm/℃×5V×45℃=225mV。因此1ppm/℃的性能僅適用于整個(gè)商用溫度范圍內(nèi)的14位系統(tǒng)。常用器件的溫度漂移性能為1ppm/℃到100ppm/℃

　　長(zhǎng)期穩(wěn)定性(LTS)給出了某一種封裝或某類器件中潛在的硅片應(yīng)力或離子遷移的程度。注意在溫度和濕度處在極端狀態(tài)下，電路板清潔度對(duì)此參數(shù)有很大的影響。還要注意LTS僅在25℃基準(zhǔn)溫度下有效。

　　電壓基準(zhǔn)源流出和吸入電流的能力是另一個(gè)重要參數(shù)。大多數(shù)應(yīng)用只需要基準(zhǔn)源對(duì)負(fù)載供出電流。許多基準(zhǔn)源不能吸入電流。還需注意基準(zhǔn)源的帶負(fù)載能力。