來(lái)自蘇州的一家留學(xué)生初創(chuàng)IC設(shè)計(jì)公司蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司(MEMSensingMicrosystemsCo.,Ltd.)近日宣布，推出外形尺寸為1.5mm×1.5mm×0.4mm的硅基MEMS麥克風(fēng)芯片，并已開始進(jìn)行樣產(chǎn)和小批量生產(chǎn)。該公司表示，將于2008年中對(duì)客戶進(jìn)行批量供貨。
 
　　據(jù)該公司公布的新產(chǎn)品MEMS麥克風(fēng)評(píng)測(cè)試驗(yàn)結(jié)果顯示，其靈敏度為-42dB左右(1Pa，1kHz時(shí))，頻率范圍為50Hz～10kHz(+/-3dB)，功耗120uA，信躁比大于58dB。建議工作溫度范圍為－25～＋70℃。輸入電壓范圍為7－10V，加載電壓為12V。

　　由于傳統(tǒng)的駐極體電容麥克風(fēng)(ECM)不能承受自動(dòng)表面貼裝工藝的高溫，所以ECM在手機(jī)、電腦等消費(fèi)電子領(lǐng)域正逐步被新型的硅麥克風(fēng)所替代。利用微細(xì)加工技術(shù)制造的硅麥克風(fēng)有著與ECM相若的聲學(xué)性能，但是在耐高溫、可靠性、均勻性、功耗、尺寸以及設(shè)計(jì)靈活性方面均有優(yōu)勢(shì)。此外，由于硅麥克風(fēng)能夠承受自動(dòng)表面貼裝工藝的高溫，所以在一系列的組裝工序中，還可與其它元器件一樣進(jìn)行回流焊?？梢允∪CM所需要的其它工序，因此有望降低組裝成本。

　　據(jù)SEMI的分析師DylenLiu介紹，這是一家典型的國(guó)內(nèi)MEMS初創(chuàng)企業(yè)。“當(dāng)年北大的MEMS有志青年，香港科大深造MEMS有成，獲得馬來(lái)西亞天使資金支持，在國(guó)內(nèi)研發(fā)兩年，北大、微系統(tǒng)所、國(guó)內(nèi)的一些模擬器件廠四處轉(zhuǎn)戰(zhàn)尋找，終決定由中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所6英寸MEMS生產(chǎn)線進(jìn)行代工。

　　敏芯計(jì)劃以芯片或者晶圓的形式向傳統(tǒng)ECM廠商進(jìn)行供貨，初期將供應(yīng)基于四寸晶圓的芯片，外形尺寸為1.5mm×1.5mm×0.4mm的版本。今后為進(jìn)一步降低成本，公司將供應(yīng)基于6寸晶圓的芯片，外形尺寸為1.0mm×1.0mm×0.45mm。公司也可根據(jù)客戶要求提供完全封裝好的硅麥克風(fēng)，或者對(duì)傳統(tǒng)ECM廠商轉(zhuǎn)移封裝技術(shù)并由敏芯提供硅麥克風(fēng)硅片的方式。