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半導(dǎo)體測(cè)試的奧秘[原創(chuàng)連載]

作者:code631 欄目:集成電路
半導(dǎo)體測(cè)試的奧秘[原創(chuàng)連載]

這個(gè)系列主要介紹半導(dǎo)體測(cè)試相關(guān)的概念,知識(shí),大家先看著。 轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明作者信息,謝謝

原文本出自internet,版權(quán)歸原作者所有
2006 龔軼 編譯版權(quán)所有
Email: code631@gmail.com


目錄:
1,    測(cè)量可重復(fù)性和可復(fù)制性(GR&R)
2,    電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence)
3,    電氣測(cè)試的限值空間(Guardband)
4,    電氣測(cè)試參數(shù) CPK
5,    電氣測(cè)試良品率模型(TEST yield)
6,    晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in)
7,    Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn)
8,    自我測(cè)試電路(Built-in Self TEST)
9,    自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG)


* - 本貼最后修改時(shí)間:2006-6-29 23:36:49 修改者:code631

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code631
測(cè)量可重復(fù)性和可復(fù)制性(GR&R)
GR&R是用于評(píng)估測(cè)試設(shè)備對(duì)相同的測(cè)試對(duì)象反復(fù)測(cè)試而能夠得到重復(fù)讀值的能力的參數(shù)。也就是說GR&R是用于描述測(cè)試設(shè)備的穩(wěn)定性和一致性的一個(gè)指標(biāo)。對(duì)于半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備,這一指標(biāo)尤為重要。

從數(shù)學(xué)角度來看,GR&R就是指實(shí)際測(cè)量的偏移度。測(cè)試工程師必須盡可能減少設(shè)備的GR&R值,過高的GR&R值表明測(cè)試設(shè)備或方法的不穩(wěn)定性。

如同GR&R名字所示,這一指標(biāo)包含兩個(gè)方面:可重復(fù)性和可復(fù)制性?芍貜(fù)性指的是相同測(cè)試設(shè)備在同一個(gè)操作員操作下反復(fù)得到一致的測(cè)試結(jié)果的能力?蓮(fù)制性是說同一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)在不同操作員反復(fù)操作下得到一致的測(cè)試結(jié)果的能力。

當(dāng)然,在現(xiàn)實(shí)世界里,沒有任何測(cè)試設(shè)備可以反復(fù)獲得完全一致的測(cè)試結(jié)果,通常會(huì)受到5個(gè)因素的影響:
1,    測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
2,    測(cè)試方法
3,    測(cè)試儀器
4,    測(cè)試人員
5,    環(huán)境因素

所有這些因素都會(huì)影響到每次測(cè)試的結(jié)果,測(cè)試結(jié)果的精確度只有在確保以上5個(gè)因素的影響控制到最小程度的情況下才能保證。

有很多計(jì)算GR&R的方法,下面將介紹其中的一種,這個(gè)方法是由Automotive Idustry Action GROUP(AIAG)推薦的。首先計(jì)算由測(cè)試設(shè)備和人員造成的偏移,然后由這些參數(shù)計(jì)算最終GR&R值。

EQUIPMENT Variation (EV):代表測(cè)試過程(方法和設(shè)備)的可重復(fù)性。它可以通過相同的操作員對(duì)測(cè)試目標(biāo)反復(fù)測(cè)試而得到的結(jié)果計(jì)算得來。
Appraiser Variation (AV):表示該測(cè)試流程的可復(fù)制性?梢酝ㄟ^不同操作員對(duì)相同測(cè)試設(shè)備和流程反復(fù)測(cè)測(cè)試所得數(shù)據(jù)計(jì)算得來。

GR&R的計(jì)算則是由上述兩個(gè)參數(shù)綜合得來。

必須指出的是測(cè)試的偏移不僅僅是由上述兩者造成的,同時(shí)還受PART Variation(PV)的影響。PV表示測(cè)試目標(biāo)不同所造成的測(cè)試偏差,通常通過測(cè)試不同目標(biāo)得到的數(shù)據(jù)計(jì)算而來。

現(xiàn)在讓我們來計(jì)算總偏差:Total Variation (TV),它包含了由R&R和PV所構(gòu)成的影響。

TV = sqrt((R&R)**+ PV**)

在一個(gè)GR&R報(bào)表中,最終的結(jié)果往往表示成:%EV, %AV, %R&R,和 %PV。他們分別表示EV,AV,R&R和PV相對(duì)TV的百分比。因此

%EV=(EV/TV)x100%
%AV=(AV/TV)x100%
%R&R=(R&R/TV)x100%
%PV=(PV/TV)x100%

%R&R如果大于10%,則此測(cè)試設(shè)備和流程是良好的;%R&R在10%和30% 之間表示可以接受;如果大于30%則需要工程人員對(duì)此設(shè)備和流程進(jìn)行改良。


* - 本貼最后修改時(shí)間:2006-6-28 19:24:31 修改者:code631

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code631
電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence)
電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence)

很多測(cè)試工程師都會(huì)發(fā)現(xiàn)測(cè)試的結(jié)果往往都不能預(yù)見,即使是用最先進(jìn)的ATE也不能保證測(cè)試結(jié)果的正確性。很多情況下,必須對(duì)產(chǎn)品重新測(cè)試(retest),浪費(fèi)了大量時(shí)間。

電氣測(cè)試可信度簡(jiǎn)而言之就是衡量一個(gè)測(cè)試設(shè)備提供給使用者測(cè)試結(jié)果正確性的指標(biāo)。一個(gè)電氣測(cè)試可信度很高的測(cè)試設(shè)備無需作重復(fù)的retest,從而節(jié)省大量寶貴的測(cè)試時(shí)間。

如果把第一次測(cè)試下來的失效器件(rejects)重測(cè),其中有些可能會(huì)通過測(cè)試,原因在于原始的錯(cuò)誤可能由測(cè)試設(shè)備造成的,而非器件本身。這樣的失效被稱為“非正常失效”(invalid),測(cè)試可信度可以通過衡量這些“非正常失效”的數(shù)量來計(jì)算。

非正常失效產(chǎn)生有很多原因:
1,    DUT和測(cè)試頭之間接觸不良
2,    測(cè)試設(shè)備硬件問題
3,    不合理的硬件搭構(gòu)
4,    金屬接觸面氧化或污染導(dǎo)致接觸失效
5,    測(cè)試環(huán)境濕度過高
6,    GR&R過高

其中第一條是很多測(cè)試工程師面臨的普遍問題,其原因有:
1,    DUT引腳和接觸面沒有對(duì)齊
2,    接觸器件老化
3,    接觸器件氧化和污染
4,    接觸面濕度太大

很多公司試圖解決這個(gè)問題,畢竟其他的問題可以在產(chǎn)品測(cè)試正式release之前解決:
1,    測(cè)試程序調(diào)試和設(shè)計(jì)
2,    正確設(shè)置測(cè)試限值
3,    使用性能優(yōu)良的測(cè)試設(shè)備
4,    使用可靠的接觸件
5,    測(cè)試環(huán)境優(yōu)化等等

由此可見,電氣測(cè)試可信度很大程度上依賴于電氣接觸可靠性。具體的說,就是電氣測(cè)試中各部件正確良好接觸的幾率。90%的電氣測(cè)試可信度就表示平均100個(gè)被測(cè)器件中有90個(gè)獲得良好接觸而其他10個(gè)則遇到了電氣接觸問題。
通過幾輪的重測(cè)可以將這些非正常失效器件變成好的器件,因此重測(cè)獲得的非正常失效器件的數(shù)量也由電氣測(cè)試可信度決定。

假設(shè)初測(cè)成品率為Y1,那么這批產(chǎn)品真正的成品率為Y=Y1/C,其中C為該系統(tǒng)電氣測(cè)試可靠度。

如果這批產(chǎn)品重測(cè)成品數(shù)量為R2,R2=Q(1-Y1),其中Q為產(chǎn)品總數(shù)。

重測(cè)成品率為YY,YY = Rinvalid/R2 而 重測(cè)后增加的成品率Y2 = (Rinvalid/R2) x C.

通過計(jì)算可得:C = 1 - [Y2(1-Y1) / Y1]

C:測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度
Y1:初測(cè)成品率
Y2:重測(cè)后成品率

有人觀察過RFIC測(cè)試的結(jié)果得出如下結(jié)論:
1,    C小于85%的測(cè)試是不合理的,應(yīng)該重寫
2,    C大于95%的測(cè)試無需重測(cè)
3,    C在85%和95%之間的需要重測(cè)

當(dāng)然以上數(shù)據(jù)不一定適合所有公司和所有產(chǎn)品,公司的測(cè)試經(jīng)理應(yīng)該通過計(jì)算得適合自己產(chǎn)品的測(cè)試原則,這是對(duì)測(cè)試專業(yè)人員提出的挑戰(zhàn)。


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code631
電氣測(cè)試的限值空間(Guardband)
電氣測(cè)試的限值空間(Guardband)


很多測(cè)試工程師認(rèn)為電氣測(cè)試參數(shù)的限值就是在進(jìn)行參數(shù)測(cè)試的時(shí)候設(shè)定的允許范圍,電測(cè)限值的使用是為了在產(chǎn)品量測(cè)的時(shí)候相對(duì)產(chǎn)品電氣標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)更保守,從而降低客戶使用產(chǎn)品時(shí)出現(xiàn)問題的幾率。

在大部分半導(dǎo)體測(cè)試工序中,往往采用兩個(gè)版本的測(cè)試程序:
1,    產(chǎn)品量測(cè)程序
2,    質(zhì)量確認(rèn)程序(QA)

前者用于產(chǎn)品量測(cè)線上,后者則用于抽樣測(cè)試。

QA測(cè)試用于確保通過量測(cè)的產(chǎn)品是真正的沒有問題,由于被測(cè)器件已經(jīng)通過量測(cè)程序,理論上他們應(yīng)該100%通過QA測(cè)試。因此,QA不通過的器件將被重點(diǎn)調(diào)查。

QA測(cè)試程序是根據(jù)產(chǎn)品參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)來設(shè)計(jì)的,而量測(cè)程序則是使用了更加嚴(yán)格的測(cè)試限值。很多測(cè)試同時(shí)有上下限值,在這種情況下,必須保證兩者都是用更加嚴(yán)格的限值。

那么,為什么在量測(cè)和QA之間有一個(gè)限值空間呢?答案在于沒有兩個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的完全一致的,兩個(gè)系統(tǒng)總會(huì)給出不同的測(cè)試量結(jié)果。這可能導(dǎo)致一個(gè)器件在不同系統(tǒng)上測(cè)試得到不同的結(jié)果,事實(shí)上即使同一個(gè)系統(tǒng)上多次測(cè)試的結(jié)果也可能不盡相同。

測(cè)試系統(tǒng)的不一致性原因很多,而且很難全部解決,這也是為什么在量測(cè)和QA測(cè)試之間留置限值空間的原因。


5樓: >>參與討論
21engineer
很不錯(cuò),值得一看。
很不錯(cuò),值得一看,能不能給出原文的出處。

6樓: >>參與討論
code631
電氣測(cè)試參數(shù) CPK
電氣測(cè)試參數(shù) CPK

CPK = PROCESS capability index.

一個(gè)工序的性能可以由結(jié)果的集中度和距離標(biāo)準(zhǔn)的偏移度來衡量。對(duì)于一個(gè)結(jié)果可以由正態(tài)分布表示的工序來說,它的性能可以由CpK來表示。

一個(gè)工序的CpK指數(shù)表示該工序輸出結(jié)果在上下限之間的集中度和偏移度。實(shí)際上,CpK代表了輸出結(jié)果的和平均值之間的距離和比較近的標(biāo)準(zhǔn)限值之間的比率。(也就是3個(gè)sigma)

如果結(jié)果的平均值更靠近下限(LSL),假設(shè)標(biāo)準(zhǔn)差為Stdev,那么Cpk = (Mean-LSL) / (3 Stdev)。如果結(jié)果平均值更靠近上限(USL)那么Cpk = (USL-Mean) / (3 Stdev)。

理想情況就是輸出值一直在分布的正中間,那么Stdev=0,CpK=無限大。

當(dāng)輸出值離中間值越來越遠(yuǎn),CpK將減小。CpK減小代表了該工序產(chǎn)生結(jié)果在標(biāo)準(zhǔn)限值之外的可能性怎增大了。因此,每個(gè)CpK的值可以表示相應(yīng)的失效比率(PPM)。

下表列出CpK和相應(yīng)的PPM值,在半導(dǎo)體業(yè)中,CpK的標(biāo)準(zhǔn)值應(yīng)在1.67左右,最低不能低于1.33。


7樓: >>參與討論
code631
CPK and PPM
1

8樓: >>參與討論
code631
CpK
CpK在半導(dǎo)體測(cè)試中用于描述測(cè)試工序的穩(wěn)定度,它只適用于測(cè)試結(jié)果呈正態(tài)分布的情況下。CpK衡量?jī)蓚(gè)指標(biāo):
1,    測(cè)試結(jié)果靠近中間值的距離
2,    測(cè)試結(jié)果分布情況

CpK越高表示測(cè)試工序越好。

在電氣測(cè)試中,CpK只能用于有數(shù)量讀值并能構(gòu)成正態(tài)分布的測(cè)試結(jié)果。

一個(gè)低的CpK暗示了3件事:
1,    結(jié)果的平均值遠(yuǎn)離中間值
2,    Stdev太大
3,    兩者皆是

測(cè)試工程師因該能夠通過觀察CpK變化尋找提高CpK的方法。

推薦的解決方法有:排出無效數(shù)據(jù),維修出錯(cuò)的測(cè)試設(shè)備,調(diào)試測(cè)試程序,重新定義上下限值。


9樓: >>參與討論
code631
to be continued...
未完待續(xù)。。。

10樓: >>參與討論
code631
電氣測(cè)試良品率模型(TEST yield)
電氣測(cè)試良品率模型

良品率就是通過電氣測(cè)試的器件數(shù)量和器件總數(shù)量的比例,同常用百分比來表示。所有半導(dǎo)體廠商想方設(shè)法提高良品率,低良品率意味著成本的提高。良品率低的原因有很多,包括工藝問題,產(chǎn)品設(shè)計(jì)問題等等。


下面舉例說明工藝問題導(dǎo)致良品率低:
1,    氧化層厚度不勻
2,    參雜濃度不勻,導(dǎo)致某些區(qū)域的電阻增大
3,    掩模版偏移
4,    離子污染
5,    多晶硅層厚度不勻

設(shè)計(jì)失誤也會(huì)導(dǎo)致低良品率,對(duì)工藝過度敏感的器件不能經(jīng)受生產(chǎn)工程的正常參數(shù)變化。

即使器件設(shè)計(jì)和制造工藝沒有問題,某些產(chǎn)品批次也會(huì)遇到低良品率,這有可能是由于硅片的“點(diǎn)壞區(qū)”造成的。因?yàn)樵诠杵a(chǎn)過程中,很容易受到灰塵的污染,硅片的某個(gè)區(qū)域就不能正常工作。

我么必須了解低良品率的原因來降低生產(chǎn)的成本。這可以通過數(shù)學(xué)方法“良品率模型”來獲得,它將失效密度(defect density)轉(zhuǎn)化為可以預(yù)計(jì)的良品率。通常我們使用泊松模型,墨菲模型,指數(shù)模型和Seeds模型來計(jì)算。

半導(dǎo)體廠商往往通過實(shí)際數(shù)據(jù)來選擇合適的數(shù)學(xué)模型。比如一個(gè)晶圓廠的良品率數(shù)據(jù)可能是根據(jù)晶元大小對(duì)比其他數(shù)學(xué)模型而得來的。

一個(gè)簡(jiǎn)單的良品率數(shù)學(xué)模型假設(shè)造成良品率損失的原因是平均的失效密度和隨機(jī)的失效點(diǎn)分布。如果該晶圓上有很多晶元(N)其中有很多隨機(jī)分布的失效晶元(n),那么一個(gè)晶元存在k個(gè)失效晶元的可能性可以根據(jù)泊松分布估算:Pk = e-m (mk/k!) 其中 m = n/N。假設(shè)Y為良品率那么Y就是
一個(gè)晶元沒有任何失效的可能性即K=0,Y = e-m。設(shè)D為晶元的失效密度,那么D=n/N/A=n/NA,其中A是每個(gè)晶元的面積,由m=n/N,m為每個(gè)晶元平均的失效晶元數(shù)即AD。因此Y = e (-AD),這也就是泊松良品率模型。

許多專家提出泊松分布估算的良品率太低了因?yàn)槭Ьгǔ2粫?huì)隨機(jī)分布在晶圓上,他們一般都集中在某個(gè)區(qū)域。這種現(xiàn)象導(dǎo)致估算的良品率要比實(shí)際良品率低的多。

另一個(gè)簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)模型假設(shè)失效晶元是不均勻的分布,此時(shí)良品率Y= 0∫∞ e (-AD) f(D) dD,其中f(D)為失效密度分布函數(shù)。假設(shè)有一個(gè)三角形的失效密度分布函數(shù)如下圖1所示,那么Y = [(1-e(-AD))/(AD)]2,此時(shí)模型被稱為墨菲模型。如果失效密度分布函數(shù)為長(zhǎng)方形的(圖2)那么Y = (1-e(-2AD))/(2AD),許多實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)都和此模型吻合。


另一個(gè)數(shù)學(xué)模型稱為指數(shù)良品率模型,它假設(shè)極高的失效密度只會(huì)集中在某個(gè)小區(qū)域內(nèi)。因此它很適用于高失效密度集中的情況下,Y=1/(1+AD)。

最后Seeds模型給出的方程式Y(jié) = e – sqrt(AD).


11樓: >>參與討論
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晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in)
晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in)

晶圓測(cè)試和老化(簡(jiǎn)稱WLTBI)指對(duì)半導(dǎo)體器件在未包裝之前進(jìn)行電氣測(cè)試和老化。老化是指通過加壓加熱對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行老化從而分辨可靠性較差的器件。

WLTBI通常要使用晶圓探針臺(tái)以連接晶圓上細(xì)小的引腳,而探針臺(tái)也提供了測(cè)試和老化所需要的溫度。

WLTBI不僅可以提供早期測(cè)試,也適用于
1,    裸片器件(KGD,know GOOD die)
2,    晶元級(jí)封裝器件

最理想的情況就是所有的測(cè)試都能在晶圓級(jí)完成,這樣就不需要最終測(cè)試,可以節(jié)省大量成本。不過,目前的WLTBI只不過是傳統(tǒng)晶圓制造的后端延伸。

WLTBI基本的原理和普通的半導(dǎo)體器件終測(cè)沒什么區(qū)別,都是通過對(duì)DUT加激勵(lì)并觀察其輸出功能來判別器件的好壞,區(qū)別在于如何對(duì)器件進(jìn)行激勵(lì)。在終測(cè)時(shí),電流和電壓是通過ATE連接器件引腳而進(jìn)入器件內(nèi)部。在老化時(shí),器件被放置于烤箱中并由老化板提供所需的電壓電流。

而在WLTBI中,電流和電壓是通過器件接觸腳直接輸入到電路內(nèi)部。


來自WLTBI的挑戰(zhàn)之一是如何取得可靠的探針和引腳接觸。如果在測(cè)試和老化過程中出現(xiàn)不良的接觸則會(huì)引起很多問題:低良品率,老化不徹底,電壓過載(EOS)等。




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Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn)
Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn)
Boundary-Scan 測(cè)試,也就是JTAG標(biāo)準(zhǔn)指的是IEEE 1149.1號(hào)規(guī)范。這個(gè)規(guī)范規(guī)定了一系列的設(shè)計(jì)規(guī)范,用于定義半導(dǎo)體器件在器件級(jí),電路級(jí)和系統(tǒng)級(jí)的測(cè)試,編程和調(diào)試。JTAG是“Joint TEST Action GROUP”的縮寫,該組織聯(lián)合也為世界上大部分電子廠商所支持。

在過去的20年發(fā)展而來的眼花繚亂的半導(dǎo)體表面貼裝技術(shù)(SMT)形成了復(fù)雜而高密度的電路板,對(duì)電路板上的元件進(jìn)行調(diào)試變得非常困難,主要原因是由于缺乏對(duì)每個(gè)元件的單獨(dú)訪問的可能性。

現(xiàn)代半導(dǎo)體器件的引腳數(shù)和封裝形式使得傳統(tǒng)的單獨(dú)測(cè)試變得幾乎不可能。為了解決這個(gè)問題,1985年JTAG成立,并定義了Boundary-Scan 測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)。

Boundary-Scan測(cè)試主要采用了在器件電路中加入了特殊測(cè)試電路,通過這個(gè)電路可以在電路板級(jí)測(cè)試中同時(shí)測(cè)試器件和電路板。這個(gè)特殊電路允許輸入信號(hào)從器件的輸入腳進(jìn)入并從輸出腳串行導(dǎo)出,使得對(duì)該器件的測(cè)試可以由僅僅4個(gè)引腳完成。這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)成為當(dāng)今最流行的DFT技術(shù)之一。

這樣做的好處是顯而易見的:
1,    顯著地減少板上的物理引腳數(shù)
2,    提高器件的密度
3,    減少測(cè)試設(shè)備成本
4,    縮短測(cè)試時(shí)間
5,    提高測(cè)試效率

一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)JTAG器件具備:
1,    在每個(gè)輸入輸出腳都有一個(gè)Boundary Cell
2,    傳輸路徑(或傳輸鏈)用于連接Boundary Cell
3,    4到5個(gè)引腳用于控制JTAG信號(hào)
4,    TEST Access PORT(TAP)用于在測(cè)試過程中的控制信號(hào)
5,    16態(tài) TAP控制器或State Machine用于控制測(cè)試狀態(tài)

在正常工作狀態(tài)下,Boundary Cell沒有什么作用。在測(cè)試模式下,這些Cell將被激活并捕捉在每個(gè)輸入輸出腳的信號(hào)流,繞過正常模式下的輸入輸出腳。Boundary Cells基本上是由Multiplexer和移位寄存器構(gòu)成。

TAP只是一個(gè)簡(jiǎn)單的接觸口,它的標(biāo)準(zhǔn)由IEEE1449.1所定義:至少由4或5個(gè)腳組成,這些引腳被用于實(shí)現(xiàn)JTAG串行協(xié)議:
1,    TCK:時(shí)鐘信號(hào),用于同步內(nèi)部TAP控制和State Machine工作狀態(tài)
2,    TMS:模式選擇,在時(shí)鐘上升沿觸發(fā)并決定State Machine的下一個(gè)狀態(tài)
3,    TDI:數(shù)據(jù)輸入
4,    TDO:數(shù)據(jù)輸出
5,    TRST:(可選)異步重置
JTAG標(biāo)準(zhǔn)器件的Boundary Scan LOGIC的屬性和容量是由一個(gè)外部文件定義的,名叫“Boundary-Scan DESCRIPTION Language”(BSDL)。BSDL文件由器件生產(chǎn)商提供,通過它來提供該器件進(jìn)行Boundary Scan所需的算法機(jī)制。

在用Boundary Scan對(duì)器件測(cè)試時(shí),必須遵循下面步驟:
1,    外部測(cè)試設(shè)備提供調(diào)試輸入信號(hào)給DUT的輸入腳
2,    該輸入腳的Boundary Cell捕捉輸入信號(hào)
3,    輸入數(shù)據(jù)通過TDI腳串行輸入到Core中
4,    輸出數(shù)據(jù)由TDO腳串行輸出
5,    外部測(cè)試設(shè)備接受輸出數(shù)據(jù)并比較結(jié)果

電路板上的故障如斷路,器件缺失,器件反向等都可以由此檢測(cè)。



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內(nèi)建自測(cè)(Built-in Self TEST
內(nèi)建自測(cè)(Built-in Self TEST

Built-in Self TEST 簡(jiǎn)稱BIST是在設(shè)計(jì)時(shí)在電路中植入相關(guān)功能電路用于提供自我測(cè)試功能的技術(shù),以此降低器件測(cè)試對(duì)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的依賴程度。

BIST是一種DFT(Design for TESTability)技術(shù),它可以應(yīng)用于幾乎所有電路,因此在半導(dǎo)體工業(yè)被廣泛應(yīng)用。舉例來說,在DRAM中普遍使用的BIST技術(shù)包括在電路中植入測(cè)試圖形發(fā)生電路,時(shí)序電路,模式選擇電路和調(diào)試測(cè)試電路。

BIST技術(shù)的快速發(fā)展很大的原因是由于居高不下的ATE成本和電路的高復(fù)雜度,F(xiàn)在,高度集成的電路被廣泛應(yīng)用,測(cè)試這些電路需要高速的混合信號(hào)測(cè)試設(shè)備。BIST技術(shù)可以通過實(shí)現(xiàn)自我測(cè)試從而減少對(duì)ATE的需求。

BIST技術(shù)也可以解決很多電路無法直接測(cè)試的問題,因?yàn)樗麄儧]有直接的外部引腳,比如嵌閃?梢灶A(yù)見,在不久的將來即使最先進(jìn)的ATE也無法完全測(cè)試最快的電路,這也是采用BIST的原因之一。

采用BIST技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于:
1,    降低測(cè)試成本
2,    提高錯(cuò)誤覆蓋率
3,    縮短測(cè)試所需時(shí)間
4,    方便客戶服務(wù)
5,    獨(dú)立測(cè)試的能力

缺點(diǎn)
1,    額外的電路占用寶貴面積
2,    額外的引腳
3,    可能存在的測(cè)試盲點(diǎn)

采用BIST所存在的問題:
1,    哪些測(cè)試需要BIST完成?
2,    最多允許多少額外的面積?
3,    需要什么樣的外部激勵(lì)?
4,    測(cè)試所需時(shí)間和效率?
5,    BIST是固定的還是可編程的?
6,    采用BIST將對(duì)現(xiàn)有工序產(chǎn)生什么影響?

BIST技術(shù)大致可以分兩類: LOGIC BIST(LBIST) 和 MEMORY  BIST (MBIST)
LBIST通常用于測(cè)試隨機(jī)邏輯電路,一般采用一個(gè)偽隨機(jī)測(cè)試圖形生成器來產(chǎn)生輸入測(cè)試圖形,應(yīng)用于器件內(nèi)部機(jī)制;而采用多輸入寄存器(MISR)作為獲得輸出信號(hào)產(chǎn)生器。

MBIST只用于存儲(chǔ)器測(cè)試,典型的MBIST包含測(cè)試電路用于加載,讀取和比較測(cè)試圖形。目前存在幾種業(yè)界通用的MBIST算法,比如“March”算法。Checkerboard算法等等。

另一種比較少見的BIST稱為Array BIST,它是MBIST的一種,專門用于嵌入式存儲(chǔ)器的自我測(cè)試。ANALOG BIST,則用于模擬電路的自我測(cè)試。

BIST技術(shù)正成為高價(jià)ATE的替代方案,但是BIST技術(shù)目前還無法完全取代ATE,他們將在未來很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)共存。


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自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG)
自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG)

Automatic TEST Pattern Generation(ATPG)是在半導(dǎo)體電氣測(cè)試中使用的測(cè)試圖形向量由程序自動(dòng)生成的過程。測(cè)試向量按順序地加載與器件的輸入腳上,輸出的信號(hào)被收集并與預(yù)算好的測(cè)試向量相比較從而判斷測(cè)試的結(jié)果。ATPG的有效性是衡量測(cè)試錯(cuò)誤覆蓋率的重要指標(biāo)。

一個(gè)ATPG的周期可以分為兩個(gè)階段:
1,    測(cè)試的生成
2,    測(cè)試的應(yīng)用

在測(cè)試的生成過程中,針對(duì)電路的設(shè)計(jì)的測(cè)試模型在Gate或TRANSISTOR Level產(chǎn)生,以使錯(cuò)誤的電路能夠被該模型所偵測(cè)。這個(gè)過程基本上是個(gè)數(shù)學(xué)過程,可以通過以下幾個(gè)方法獲得:

1,    手工方法
2,    算法產(chǎn)生
3,    偽隨機(jī)產(chǎn)生 – 軟件通過復(fù)雜的ATPG程序產(chǎn)生測(cè)試圖形向量。

在創(chuàng)建一個(gè)測(cè)試時(shí),我們的目標(biāo)應(yīng)該是在有限存儲(chǔ)空間內(nèi)執(zhí)行高效的測(cè)試圖形向量。由此可見,ATPG必須在滿足一定錯(cuò)誤覆蓋率的情況下,產(chǎn)生盡可能少的測(cè)試向量。主要考慮到下述因素:

1,    建立最小測(cè)試組所需的時(shí)間
2,    測(cè)試圖形向量的大小,軟件,硬件的需求
3,    測(cè)試過程的長(zhǎng)度
4,    加載測(cè)試圖形向量所需的時(shí)間
5,    外部設(shè)備?

現(xiàn)在被廣泛使用的ATPG算法包括:D算法,PODEM算法和FAN算法。任何算法都需要一種叫“path sensitization”的技術(shù),它指的是在電路中尋找一條路徑以使得路徑中的錯(cuò)誤能都表現(xiàn)在路徑的輸出端。

最廣泛應(yīng)用的算法是D算法,D代表1而D’代表0,D和D’互補(bǔ),具體的方法在此不再累述。

ATPG產(chǎn)生過程包含以下步驟:
1,    錯(cuò)誤選擇,選擇需要測(cè)試的錯(cuò)誤
2,    初始,尋找合適的輸入向量集
3,    傳輸向量集
4,    比較結(jié)果


15樓: >>參與討論
解牛
受教了
這個(gè)應(yīng)該是實(shí)際生產(chǎn)中的流程吧》??

16樓: >>參與討論
bsbjx
好!!!頂!!!
 
17樓: >>參與討論
code631
解牛同學(xué)
沒錯(cuò),不想多談測(cè)試?yán)碚摰木唧w東西,因?yàn)檫@方面已經(jīng)有很多資料了。

18樓: >>參與討論
epprom
封裝后的產(chǎn)品和封裝前的測(cè)試數(shù)據(jù)差異較大。
請(qǐng)教個(gè)問題,封裝后的產(chǎn)品和封裝前的測(cè)試數(shù)據(jù)差異較大。
請(qǐng)教封裝的原因?qū)е庐a(chǎn)品良率受到影響該如何解決?

19樓: >>參與討論
code631
封裝影響測(cè)試數(shù)據(jù)
封裝前是prober測(cè)試,接觸性能和包裝后測(cè)試是不同的。也有可能是bongding問題,當(dāng)然還要看是什么樣的測(cè)試。

20樓: >>參與討論
epprom
1.自動(dòng)測(cè)試圖形向量的意思不太懂,在測(cè)試中向量是什麼?
1.自動(dòng)測(cè)試圖形向量的意思不太懂,在測(cè)試中向量是什麼?
2.CPK與PPM的關(guān)系之中,1-side ,2-side是什麼意思?請(qǐng)教了謝謝

21樓: >>參與討論
lyl16
問好!
你好!
我是搞測(cè)試的,同行!

22樓: >>參與討論
iraq
都是些基本當(dāng)?shù)貣|西
 
23樓: >>參與討論
ljz7529
GOOD JOB!! MEN !!
Nice web!!

24樓: >>參與討論
peterwb
渴望樓主可否留下QQ或MSN
十分受教
渴望樓主可否留下QQ或MSN
以求請(qǐng)教和交流哈?

25樓: >>參與討論
allenxhw
回答
1-side 2-side 是CPK圖中單邊、雙邊容差的意思
在規(guī)格值中有單邊、雙邊之分的

哈哈,我也是學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)!

26樓: >>參與討論
anrui
受教了
值!
得!


27樓: >>參與討論
gcqsmile
好啊
謝謝

28樓: >>參與討論
sf101mabo
29878047
IC采購和交流的好去處,謝謝光臨

29樓: >>參與討論
HT7805
測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度,好像有點(diǎn)問題
文章中說:
通過計(jì)算可得:C = 1 - [Y2(1-Y1) / Y1]
C:測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度
Y1:初測(cè)成品率
Y2:重測(cè)后成品率
那如果我首測(cè)和重測(cè)良率都為80%,那么C=80%。不是要變的不合理。

30樓: >>參與討論
wangxl914
怎么沒內(nèi)容
怎么沒內(nèi)容

31樓: >>參與討論
劉亞龍
看不到??
怎么沒看到內(nèi)容??????

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