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半導(dǎo)體測(cè)試的奧秘[原創(chuàng)連載] |
| 作者:code631 欄目:集成電路 |
這個(gè)系列主要介紹半導(dǎo)體測(cè)試相關(guān)的概念,知識(shí),大家先看著。 轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明作者信息,謝謝 原文本出自internet,版權(quán)歸原作者所有 2006 龔軼 編譯版權(quán)所有 Email: code631@gmail.com 目錄: 1, 測(cè)量可重復(fù)性和可復(fù)制性(GR&R) 2, 電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence) 3, 電氣測(cè)試的限值空間(Guardband) 4, 電氣測(cè)試參數(shù) CPK 5, 電氣測(cè)試良品率模型(TEST yield) 6, 晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in) 7, Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn) 8, 自我測(cè)試電路(Built-in Self TEST) 9, 自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG) * - 本貼最后修改時(shí)間:2006-6-29 23:36:49 修改者:code631 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 19:22:00 發(fā)布:
測(cè)量可重復(fù)性和可復(fù)制性(GR&R) GR&R是用于評(píng)估測(cè)試設(shè)備對(duì)相同的測(cè)試對(duì)象反復(fù)測(cè)試而能夠得到重復(fù)讀值的能力的參數(shù)。也就是說GR&R是用于描述測(cè)試設(shè)備的穩(wěn)定性和一致性的一個(gè)指標(biāo)。對(duì)于半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備,這一指標(biāo)尤為重要。 從數(shù)學(xué)角度來看,GR&R就是指實(shí)際測(cè)量的偏移度。測(cè)試工程師必須盡可能減少設(shè)備的GR&R值,過高的GR&R值表明測(cè)試設(shè)備或方法的不穩(wěn)定性。 如同GR&R名字所示,這一指標(biāo)包含兩個(gè)方面:可重復(fù)性和可復(fù)制性?芍貜(fù)性指的是相同測(cè)試設(shè)備在同一個(gè)操作員操作下反復(fù)得到一致的測(cè)試結(jié)果的能力?蓮(fù)制性是說同一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)在不同操作員反復(fù)操作下得到一致的測(cè)試結(jié)果的能力。 當(dāng)然,在現(xiàn)實(shí)世界里,沒有任何測(cè)試設(shè)備可以反復(fù)獲得完全一致的測(cè)試結(jié)果,通常會(huì)受到5個(gè)因素的影響: 1, 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 2, 測(cè)試方法 3, 測(cè)試儀器 4, 測(cè)試人員 5, 環(huán)境因素 所有這些因素都會(huì)影響到每次測(cè)試的結(jié)果,測(cè)試結(jié)果的精確度只有在確保以上5個(gè)因素的影響控制到最小程度的情況下才能保證。 有很多計(jì)算GR&R的方法,下面將介紹其中的一種,這個(gè)方法是由Automotive Idustry Action GROUP(AIAG)推薦的。首先計(jì)算由測(cè)試設(shè)備和人員造成的偏移,然后由這些參數(shù)計(jì)算最終GR&R值。 EQUIPMENT Variation (EV):代表測(cè)試過程(方法和設(shè)備)的可重復(fù)性。它可以通過相同的操作員對(duì)測(cè)試目標(biāo)反復(fù)測(cè)試而得到的結(jié)果計(jì)算得來。 Appraiser Variation (AV):表示該測(cè)試流程的可復(fù)制性?梢酝ㄟ^不同操作員對(duì)相同測(cè)試設(shè)備和流程反復(fù)測(cè)測(cè)試所得數(shù)據(jù)計(jì)算得來。 GR&R的計(jì)算則是由上述兩個(gè)參數(shù)綜合得來。 必須指出的是測(cè)試的偏移不僅僅是由上述兩者造成的,同時(shí)還受PART Variation(PV)的影響。PV表示測(cè)試目標(biāo)不同所造成的測(cè)試偏差,通常通過測(cè)試不同目標(biāo)得到的數(shù)據(jù)計(jì)算而來。 現(xiàn)在讓我們來計(jì)算總偏差:Total Variation (TV),它包含了由R&R和PV所構(gòu)成的影響。 TV = sqrt((R&R)**+ PV**) 在一個(gè)GR&R報(bào)表中,最終的結(jié)果往往表示成:%EV, %AV, %R&R,和 %PV。他們分別表示EV,AV,R&R和PV相對(duì)TV的百分比。因此 %EV=(EV/TV)x100% %AV=(AV/TV)x100% %R&R=(R&R/TV)x100% %PV=(PV/TV)x100% %R&R如果大于10%,則此測(cè)試設(shè)備和流程是良好的;%R&R在10%和30% 之間表示可以接受;如果大于30%則需要工程人員對(duì)此設(shè)備和流程進(jìn)行改良。 * - 本貼最后修改時(shí)間:2006-6-28 19:24:31 修改者:code631 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 20:12:00 發(fā)布:
電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence) 電氣測(cè)試可信度(Electrical TEST Confidence) 很多測(cè)試工程師都會(huì)發(fā)現(xiàn)測(cè)試的結(jié)果往往都不能預(yù)見,即使是用最先進(jìn)的ATE也不能保證測(cè)試結(jié)果的正確性。很多情況下,必須對(duì)產(chǎn)品重新測(cè)試(retest),浪費(fèi)了大量時(shí)間。 電氣測(cè)試可信度簡(jiǎn)而言之就是衡量一個(gè)測(cè)試設(shè)備提供給使用者測(cè)試結(jié)果正確性的指標(biāo)。一個(gè)電氣測(cè)試可信度很高的測(cè)試設(shè)備無需作重復(fù)的retest,從而節(jié)省大量寶貴的測(cè)試時(shí)間。 如果把第一次測(cè)試下來的失效器件(rejects)重測(cè),其中有些可能會(huì)通過測(cè)試,原因在于原始的錯(cuò)誤可能由測(cè)試設(shè)備造成的,而非器件本身。這樣的失效被稱為“非正常失效”(invalid),測(cè)試可信度可以通過衡量這些“非正常失效”的數(shù)量來計(jì)算。 非正常失效產(chǎn)生有很多原因: 1, DUT和測(cè)試頭之間接觸不良 2, 測(cè)試設(shè)備硬件問題 3, 不合理的硬件搭構(gòu) 4, 金屬接觸面氧化或污染導(dǎo)致接觸失效 5, 測(cè)試環(huán)境濕度過高 6, GR&R過高 其中第一條是很多測(cè)試工程師面臨的普遍問題,其原因有: 1, DUT引腳和接觸面沒有對(duì)齊 2, 接觸器件老化 3, 接觸器件氧化和污染 4, 接觸面濕度太大 很多公司試圖解決這個(gè)問題,畢竟其他的問題可以在產(chǎn)品測(cè)試正式release之前解決: 1, 測(cè)試程序調(diào)試和設(shè)計(jì) 2, 正確設(shè)置測(cè)試限值 3, 使用性能優(yōu)良的測(cè)試設(shè)備 4, 使用可靠的接觸件 5, 測(cè)試環(huán)境優(yōu)化等等 由此可見,電氣測(cè)試可信度很大程度上依賴于電氣接觸可靠性。具體的說,就是電氣測(cè)試中各部件正確良好接觸的幾率。90%的電氣測(cè)試可信度就表示平均100個(gè)被測(cè)器件中有90個(gè)獲得良好接觸而其他10個(gè)則遇到了電氣接觸問題。 通過幾輪的重測(cè)可以將這些非正常失效器件變成好的器件,因此重測(cè)獲得的非正常失效器件的數(shù)量也由電氣測(cè)試可信度決定。 假設(shè)初測(cè)成品率為Y1,那么這批產(chǎn)品真正的成品率為Y=Y1/C,其中C為該系統(tǒng)電氣測(cè)試可靠度。 如果這批產(chǎn)品重測(cè)成品數(shù)量為R2,R2=Q(1-Y1),其中Q為產(chǎn)品總數(shù)。 重測(cè)成品率為YY,YY = Rinvalid/R2 而 重測(cè)后增加的成品率Y2 = (Rinvalid/R2) x C. 通過計(jì)算可得:C = 1 - [Y2(1-Y1) / Y1] C:測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度 Y1:初測(cè)成品率 Y2:重測(cè)后成品率 有人觀察過RFIC測(cè)試的結(jié)果得出如下結(jié)論: 1, C小于85%的測(cè)試是不合理的,應(yīng)該重寫 2, C大于95%的測(cè)試無需重測(cè) 3, C在85%和95%之間的需要重測(cè) 當(dāng)然以上數(shù)據(jù)不一定適合所有公司和所有產(chǎn)品,公司的測(cè)試經(jīng)理應(yīng)該通過計(jì)算得適合自己產(chǎn)品的測(cè)試原則,這是對(duì)測(cè)試專業(yè)人員提出的挑戰(zhàn)。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 20:32:00 發(fā)布:
電氣測(cè)試的限值空間(Guardband) 電氣測(cè)試的限值空間(Guardband) 很多測(cè)試工程師認(rèn)為電氣測(cè)試參數(shù)的限值就是在進(jìn)行參數(shù)測(cè)試的時(shí)候設(shè)定的允許范圍,電測(cè)限值的使用是為了在產(chǎn)品量測(cè)的時(shí)候相對(duì)產(chǎn)品電氣標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)更保守,從而降低客戶使用產(chǎn)品時(shí)出現(xiàn)問題的幾率。 在大部分半導(dǎo)體測(cè)試工序中,往往采用兩個(gè)版本的測(cè)試程序: 1, 產(chǎn)品量測(cè)程序 2, 質(zhì)量確認(rèn)程序(QA) 前者用于產(chǎn)品量測(cè)線上,后者則用于抽樣測(cè)試。 QA測(cè)試用于確保通過量測(cè)的產(chǎn)品是真正的沒有問題,由于被測(cè)器件已經(jīng)通過量測(cè)程序,理論上他們應(yīng)該100%通過QA測(cè)試。因此,QA不通過的器件將被重點(diǎn)調(diào)查。 QA測(cè)試程序是根據(jù)產(chǎn)品參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)來設(shè)計(jì)的,而量測(cè)程序則是使用了更加嚴(yán)格的測(cè)試限值。很多測(cè)試同時(shí)有上下限值,在這種情況下,必須保證兩者都是用更加嚴(yán)格的限值。 那么,為什么在量測(cè)和QA之間有一個(gè)限值空間呢?答案在于沒有兩個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的完全一致的,兩個(gè)系統(tǒng)總會(huì)給出不同的測(cè)試量結(jié)果。這可能導(dǎo)致一個(gè)器件在不同系統(tǒng)上測(cè)試得到不同的結(jié)果,事實(shí)上即使同一個(gè)系統(tǒng)上多次測(cè)試的結(jié)果也可能不盡相同。 測(cè)試系統(tǒng)的不一致性原因很多,而且很難全部解決,這也是為什么在量測(cè)和QA測(cè)試之間留置限值空間的原因。 |
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| 作者: 21engineer 于 2006/6/28 20:32:00 發(fā)布:
很不錯(cuò),值得一看。 很不錯(cuò),值得一看,能不能給出原文的出處。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 20:55:00 發(fā)布:
電氣測(cè)試參數(shù) CPK 電氣測(cè)試參數(shù) CPK CPK = PROCESS capability index. 一個(gè)工序的性能可以由結(jié)果的集中度和距離標(biāo)準(zhǔn)的偏移度來衡量。對(duì)于一個(gè)結(jié)果可以由正態(tài)分布表示的工序來說,它的性能可以由CpK來表示。 一個(gè)工序的CpK指數(shù)表示該工序輸出結(jié)果在上下限之間的集中度和偏移度。實(shí)際上,CpK代表了輸出結(jié)果的和平均值之間的距離和比較近的標(biāo)準(zhǔn)限值之間的比率。(也就是3個(gè)sigma) 如果結(jié)果的平均值更靠近下限(LSL),假設(shè)標(biāo)準(zhǔn)差為Stdev,那么Cpk = (Mean-LSL) / (3 Stdev)。如果結(jié)果平均值更靠近上限(USL)那么Cpk = (USL-Mean) / (3 Stdev)。 理想情況就是輸出值一直在分布的正中間,那么Stdev=0,CpK=無限大。 當(dāng)輸出值離中間值越來越遠(yuǎn),CpK將減小。CpK減小代表了該工序產(chǎn)生結(jié)果在標(biāo)準(zhǔn)限值之外的可能性怎增大了。因此,每個(gè)CpK的值可以表示相應(yīng)的失效比率(PPM)。 下表列出CpK和相應(yīng)的PPM值,在半導(dǎo)體業(yè)中,CpK的標(biāo)準(zhǔn)值應(yīng)在1.67左右,最低不能低于1.33。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 21:00:00 發(fā)布:
CPK and PPM 1
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| 作者: code631 于 2006/6/28 21:13:00 發(fā)布:
CpK CpK在半導(dǎo)體測(cè)試中用于描述測(cè)試工序的穩(wěn)定度,它只適用于測(cè)試結(jié)果呈正態(tài)分布的情況下。CpK衡量?jī)蓚(gè)指標(biāo): 1, 測(cè)試結(jié)果靠近中間值的距離 2, 測(cè)試結(jié)果分布情況 CpK越高表示測(cè)試工序越好。 在電氣測(cè)試中,CpK只能用于有數(shù)量讀值并能構(gòu)成正態(tài)分布的測(cè)試結(jié)果。 一個(gè)低的CpK暗示了3件事: 1, 結(jié)果的平均值遠(yuǎn)離中間值 2, Stdev太大 3, 兩者皆是 測(cè)試工程師因該能夠通過觀察CpK變化尋找提高CpK的方法。 推薦的解決方法有:排出無效數(shù)據(jù),維修出錯(cuò)的測(cè)試設(shè)備,調(diào)試測(cè)試程序,重新定義上下限值。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/28 23:26:00 發(fā)布:
to be continued... 未完待續(xù)。。。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/29 20:19:00 發(fā)布:
電氣測(cè)試良品率模型(TEST yield) 電氣測(cè)試良品率模型 良品率就是通過電氣測(cè)試的器件數(shù)量和器件總數(shù)量的比例,同常用百分比來表示。所有半導(dǎo)體廠商想方設(shè)法提高良品率,低良品率意味著成本的提高。良品率低的原因有很多,包括工藝問題,產(chǎn)品設(shè)計(jì)問題等等。 下面舉例說明工藝問題導(dǎo)致良品率低: 1, 氧化層厚度不勻 2, 參雜濃度不勻,導(dǎo)致某些區(qū)域的電阻增大 3, 掩模版偏移 4, 離子污染 5, 多晶硅層厚度不勻 設(shè)計(jì)失誤也會(huì)導(dǎo)致低良品率,對(duì)工藝過度敏感的器件不能經(jīng)受生產(chǎn)工程的正常參數(shù)變化。 即使器件設(shè)計(jì)和制造工藝沒有問題,某些產(chǎn)品批次也會(huì)遇到低良品率,這有可能是由于硅片的“點(diǎn)壞區(qū)”造成的。因?yàn)樵诠杵a(chǎn)過程中,很容易受到灰塵的污染,硅片的某個(gè)區(qū)域就不能正常工作。 我么必須了解低良品率的原因來降低生產(chǎn)的成本。這可以通過數(shù)學(xué)方法“良品率模型”來獲得,它將失效密度(defect density)轉(zhuǎn)化為可以預(yù)計(jì)的良品率。通常我們使用泊松模型,墨菲模型,指數(shù)模型和Seeds模型來計(jì)算。 半導(dǎo)體廠商往往通過實(shí)際數(shù)據(jù)來選擇合適的數(shù)學(xué)模型。比如一個(gè)晶圓廠的良品率數(shù)據(jù)可能是根據(jù)晶元大小對(duì)比其他數(shù)學(xué)模型而得來的。 一個(gè)簡(jiǎn)單的良品率數(shù)學(xué)模型假設(shè)造成良品率損失的原因是平均的失效密度和隨機(jī)的失效點(diǎn)分布。如果該晶圓上有很多晶元(N)其中有很多隨機(jī)分布的失效晶元(n),那么一個(gè)晶元存在k個(gè)失效晶元的可能性可以根據(jù)泊松分布估算:Pk = e-m (mk/k!) 其中 m = n/N。假設(shè)Y為良品率那么Y就是 一個(gè)晶元沒有任何失效的可能性即K=0,Y = e-m。設(shè)D為晶元的失效密度,那么D=n/N/A=n/NA,其中A是每個(gè)晶元的面積,由m=n/N,m為每個(gè)晶元平均的失效晶元數(shù)即AD。因此Y = e (-AD),這也就是泊松良品率模型。 許多專家提出泊松分布估算的良品率太低了因?yàn)槭Ьгǔ2粫?huì)隨機(jī)分布在晶圓上,他們一般都集中在某個(gè)區(qū)域。這種現(xiàn)象導(dǎo)致估算的良品率要比實(shí)際良品率低的多。 另一個(gè)簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)模型假設(shè)失效晶元是不均勻的分布,此時(shí)良品率Y= 0∫∞ e (-AD) f(D) dD,其中f(D)為失效密度分布函數(shù)。假設(shè)有一個(gè)三角形的失效密度分布函數(shù)如下圖1所示,那么Y = [(1-e(-AD))/(AD)]2,此時(shí)模型被稱為墨菲模型。如果失效密度分布函數(shù)為長(zhǎng)方形的(圖2)那么Y = (1-e(-2AD))/(2AD),許多實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)都和此模型吻合。 另一個(gè)數(shù)學(xué)模型稱為指數(shù)良品率模型,它假設(shè)極高的失效密度只會(huì)集中在某個(gè)小區(qū)域內(nèi)。因此它很適用于高失效密度集中的情況下,Y=1/(1+AD)。 最后Seeds模型給出的方程式Y(jié) = e – sqrt(AD).
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| 作者: code631 于 2006/6/29 21:39:00 發(fā)布:
晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in) 晶圓測(cè)試和老化(Waferlevel TEST and burn-in) 晶圓測(cè)試和老化(簡(jiǎn)稱WLTBI)指對(duì)半導(dǎo)體器件在未包裝之前進(jìn)行電氣測(cè)試和老化。老化是指通過加壓加熱對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行老化從而分辨可靠性較差的器件。 WLTBI通常要使用晶圓探針臺(tái)以連接晶圓上細(xì)小的引腳,而探針臺(tái)也提供了測(cè)試和老化所需要的溫度。 WLTBI不僅可以提供早期測(cè)試,也適用于 1, 裸片器件(KGD,know GOOD die) 2, 晶元級(jí)封裝器件 最理想的情況就是所有的測(cè)試都能在晶圓級(jí)完成,這樣就不需要最終測(cè)試,可以節(jié)省大量成本。不過,目前的WLTBI只不過是傳統(tǒng)晶圓制造的后端延伸。 WLTBI基本的原理和普通的半導(dǎo)體器件終測(cè)沒什么區(qū)別,都是通過對(duì)DUT加激勵(lì)并觀察其輸出功能來判別器件的好壞,區(qū)別在于如何對(duì)器件進(jìn)行激勵(lì)。在終測(cè)時(shí),電流和電壓是通過ATE連接器件引腳而進(jìn)入器件內(nèi)部。在老化時(shí),器件被放置于烤箱中并由老化板提供所需的電壓電流。 而在WLTBI中,電流和電壓是通過器件接觸腳直接輸入到電路內(nèi)部。 來自WLTBI的挑戰(zhàn)之一是如何取得可靠的探針和引腳接觸。如果在測(cè)試和老化過程中出現(xiàn)不良的接觸則會(huì)引起很多問題:低良品率,老化不徹底,電壓過載(EOS)等。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/29 22:24:00 發(fā)布:
Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn) Boundary-Scan 測(cè)試 / JTAG 標(biāo)準(zhǔn) Boundary-Scan 測(cè)試,也就是JTAG標(biāo)準(zhǔn)指的是IEEE 1149.1號(hào)規(guī)范。這個(gè)規(guī)范規(guī)定了一系列的設(shè)計(jì)規(guī)范,用于定義半導(dǎo)體器件在器件級(jí),電路級(jí)和系統(tǒng)級(jí)的測(cè)試,編程和調(diào)試。JTAG是“Joint TEST Action GROUP”的縮寫,該組織聯(lián)合也為世界上大部分電子廠商所支持。 在過去的20年發(fā)展而來的眼花繚亂的半導(dǎo)體表面貼裝技術(shù)(SMT)形成了復(fù)雜而高密度的電路板,對(duì)電路板上的元件進(jìn)行調(diào)試變得非常困難,主要原因是由于缺乏對(duì)每個(gè)元件的單獨(dú)訪問的可能性。 現(xiàn)代半導(dǎo)體器件的引腳數(shù)和封裝形式使得傳統(tǒng)的單獨(dú)測(cè)試變得幾乎不可能。為了解決這個(gè)問題,1985年JTAG成立,并定義了Boundary-Scan 測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)。 Boundary-Scan測(cè)試主要采用了在器件電路中加入了特殊測(cè)試電路,通過這個(gè)電路可以在電路板級(jí)測(cè)試中同時(shí)測(cè)試器件和電路板。這個(gè)特殊電路允許輸入信號(hào)從器件的輸入腳進(jìn)入并從輸出腳串行導(dǎo)出,使得對(duì)該器件的測(cè)試可以由僅僅4個(gè)引腳完成。這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)成為當(dāng)今最流行的DFT技術(shù)之一。 這樣做的好處是顯而易見的: 1, 顯著地減少板上的物理引腳數(shù) 2, 提高器件的密度 3, 減少測(cè)試設(shè)備成本 4, 縮短測(cè)試時(shí)間 5, 提高測(cè)試效率 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)JTAG器件具備: 1, 在每個(gè)輸入輸出腳都有一個(gè)Boundary Cell 2, 傳輸路徑(或傳輸鏈)用于連接Boundary Cell 3, 4到5個(gè)引腳用于控制JTAG信號(hào) 4, TEST Access PORT(TAP)用于在測(cè)試過程中的控制信號(hào) 5, 16態(tài) TAP控制器或State Machine用于控制測(cè)試狀態(tài) 在正常工作狀態(tài)下,Boundary Cell沒有什么作用。在測(cè)試模式下,這些Cell將被激活并捕捉在每個(gè)輸入輸出腳的信號(hào)流,繞過正常模式下的輸入輸出腳。Boundary Cells基本上是由Multiplexer和移位寄存器構(gòu)成。 TAP只是一個(gè)簡(jiǎn)單的接觸口,它的標(biāo)準(zhǔn)由IEEE1449.1所定義:至少由4或5個(gè)腳組成,這些引腳被用于實(shí)現(xiàn)JTAG串行協(xié)議: 1, TCK:時(shí)鐘信號(hào),用于同步內(nèi)部TAP控制和State Machine工作狀態(tài) 2, TMS:模式選擇,在時(shí)鐘上升沿觸發(fā)并決定State Machine的下一個(gè)狀態(tài) 3, TDI:數(shù)據(jù)輸入 4, TDO:數(shù)據(jù)輸出 5, TRST:(可選)異步重置 JTAG標(biāo)準(zhǔn)器件的Boundary Scan LOGIC的屬性和容量是由一個(gè)外部文件定義的,名叫“Boundary-Scan DESCRIPTION Language”(BSDL)。BSDL文件由器件生產(chǎn)商提供,通過它來提供該器件進(jìn)行Boundary Scan所需的算法機(jī)制。 在用Boundary Scan對(duì)器件測(cè)試時(shí),必須遵循下面步驟: 1, 外部測(cè)試設(shè)備提供調(diào)試輸入信號(hào)給DUT的輸入腳 2, 該輸入腳的Boundary Cell捕捉輸入信號(hào) 3, 輸入數(shù)據(jù)通過TDI腳串行輸入到Core中 4, 輸出數(shù)據(jù)由TDO腳串行輸出 5, 外部測(cè)試設(shè)備接受輸出數(shù)據(jù)并比較結(jié)果 電路板上的故障如斷路,器件缺失,器件反向等都可以由此檢測(cè)。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/29 23:00:00 發(fā)布:
內(nèi)建自測(cè)(Built-in Self TEST) 內(nèi)建自測(cè)(Built-in Self TEST) Built-in Self TEST 簡(jiǎn)稱BIST是在設(shè)計(jì)時(shí)在電路中植入相關(guān)功能電路用于提供自我測(cè)試功能的技術(shù),以此降低器件測(cè)試對(duì)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的依賴程度。 BIST是一種DFT(Design for TESTability)技術(shù),它可以應(yīng)用于幾乎所有電路,因此在半導(dǎo)體工業(yè)被廣泛應(yīng)用。舉例來說,在DRAM中普遍使用的BIST技術(shù)包括在電路中植入測(cè)試圖形發(fā)生電路,時(shí)序電路,模式選擇電路和調(diào)試測(cè)試電路。 BIST技術(shù)的快速發(fā)展很大的原因是由于居高不下的ATE成本和電路的高復(fù)雜度,F(xiàn)在,高度集成的電路被廣泛應(yīng)用,測(cè)試這些電路需要高速的混合信號(hào)測(cè)試設(shè)備。BIST技術(shù)可以通過實(shí)現(xiàn)自我測(cè)試從而減少對(duì)ATE的需求。 BIST技術(shù)也可以解決很多電路無法直接測(cè)試的問題,因?yàn)樗麄儧]有直接的外部引腳,比如嵌閃?梢灶A(yù)見,在不久的將來即使最先進(jìn)的ATE也無法完全測(cè)試最快的電路,這也是采用BIST的原因之一。 采用BIST技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于: 1, 降低測(cè)試成本 2, 提高錯(cuò)誤覆蓋率 3, 縮短測(cè)試所需時(shí)間 4, 方便客戶服務(wù) 5, 獨(dú)立測(cè)試的能力 缺點(diǎn) 1, 額外的電路占用寶貴面積 2, 額外的引腳 3, 可能存在的測(cè)試盲點(diǎn) 采用BIST所存在的問題: 1, 哪些測(cè)試需要BIST完成? 2, 最多允許多少額外的面積? 3, 需要什么樣的外部激勵(lì)? 4, 測(cè)試所需時(shí)間和效率? 5, BIST是固定的還是可編程的? 6, 采用BIST將對(duì)現(xiàn)有工序產(chǎn)生什么影響? BIST技術(shù)大致可以分兩類: LOGIC BIST(LBIST) 和 MEMORY BIST (MBIST) LBIST通常用于測(cè)試隨機(jī)邏輯電路,一般采用一個(gè)偽隨機(jī)測(cè)試圖形生成器來產(chǎn)生輸入測(cè)試圖形,應(yīng)用于器件內(nèi)部機(jī)制;而采用多輸入寄存器(MISR)作為獲得輸出信號(hào)產(chǎn)生器。 MBIST只用于存儲(chǔ)器測(cè)試,典型的MBIST包含測(cè)試電路用于加載,讀取和比較測(cè)試圖形。目前存在幾種業(yè)界通用的MBIST算法,比如“March”算法。Checkerboard算法等等。 另一種比較少見的BIST稱為Array BIST,它是MBIST的一種,專門用于嵌入式存儲(chǔ)器的自我測(cè)試。ANALOG BIST,則用于模擬電路的自我測(cè)試。 BIST技術(shù)正成為高價(jià)ATE的替代方案,但是BIST技術(shù)目前還無法完全取代ATE,他們將在未來很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)共存。 |
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| 作者: code631 于 2006/6/29 23:35:00 發(fā)布:
自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG) 自動(dòng)測(cè)試圖形向量生成(ATPG) Automatic TEST Pattern Generation(ATPG)是在半導(dǎo)體電氣測(cè)試中使用的測(cè)試圖形向量由程序自動(dòng)生成的過程。測(cè)試向量按順序地加載與器件的輸入腳上,輸出的信號(hào)被收集并與預(yù)算好的測(cè)試向量相比較從而判斷測(cè)試的結(jié)果。ATPG的有效性是衡量測(cè)試錯(cuò)誤覆蓋率的重要指標(biāo)。 一個(gè)ATPG的周期可以分為兩個(gè)階段: 1, 測(cè)試的生成 2, 測(cè)試的應(yīng)用 在測(cè)試的生成過程中,針對(duì)電路的設(shè)計(jì)的測(cè)試模型在Gate或TRANSISTOR Level產(chǎn)生,以使錯(cuò)誤的電路能夠被該模型所偵測(cè)。這個(gè)過程基本上是個(gè)數(shù)學(xué)過程,可以通過以下幾個(gè)方法獲得: 1, 手工方法 2, 算法產(chǎn)生 3, 偽隨機(jī)產(chǎn)生 – 軟件通過復(fù)雜的ATPG程序產(chǎn)生測(cè)試圖形向量。 在創(chuàng)建一個(gè)測(cè)試時(shí),我們的目標(biāo)應(yīng)該是在有限存儲(chǔ)空間內(nèi)執(zhí)行高效的測(cè)試圖形向量。由此可見,ATPG必須在滿足一定錯(cuò)誤覆蓋率的情況下,產(chǎn)生盡可能少的測(cè)試向量。主要考慮到下述因素: 1, 建立最小測(cè)試組所需的時(shí)間 2, 測(cè)試圖形向量的大小,軟件,硬件的需求 3, 測(cè)試過程的長(zhǎng)度 4, 加載測(cè)試圖形向量所需的時(shí)間 5, 外部設(shè)備? 現(xiàn)在被廣泛使用的ATPG算法包括:D算法,PODEM算法和FAN算法。任何算法都需要一種叫“path sensitization”的技術(shù),它指的是在電路中尋找一條路徑以使得路徑中的錯(cuò)誤能都表現(xiàn)在路徑的輸出端。 最廣泛應(yīng)用的算法是D算法,D代表1而D’代表0,D和D’互補(bǔ),具體的方法在此不再累述。 ATPG產(chǎn)生過程包含以下步驟: 1, 錯(cuò)誤選擇,選擇需要測(cè)試的錯(cuò)誤 2, 初始,尋找合適的輸入向量集 3, 傳輸向量集 4, 比較結(jié)果 |
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| 作者: 解牛 于 2006/7/1 20:25:00 發(fā)布:
受教了 這個(gè)應(yīng)該是實(shí)際生產(chǎn)中的流程吧》?? |
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| 16樓: | >>參與討論 |
| 作者: bsbjx 于 2006/7/3 9:25:00 發(fā)布:
好!!!頂!!! |
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| 17樓: | >>參與討論 |
| 作者: code631 于 2006/7/3 16:12:00 發(fā)布:
解牛同學(xué) 沒錯(cuò),不想多談測(cè)試?yán)碚摰木唧w東西,因?yàn)檫@方面已經(jīng)有很多資料了。 |
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| 18樓: | >>參與討論 |
| 作者: epprom 于 2006/7/5 21:44:00 發(fā)布:
封裝后的產(chǎn)品和封裝前的測(cè)試數(shù)據(jù)差異較大。 請(qǐng)教個(gè)問題,封裝后的產(chǎn)品和封裝前的測(cè)試數(shù)據(jù)差異較大。 請(qǐng)教封裝的原因?qū)е庐a(chǎn)品良率受到影響該如何解決? |
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| 19樓: | >>參與討論 |
| 作者: code631 于 2006/7/6 16:56:00 發(fā)布:
封裝影響測(cè)試數(shù)據(jù) 封裝前是prober測(cè)試,接觸性能和包裝后測(cè)試是不同的。也有可能是bongding問題,當(dāng)然還要看是什么樣的測(cè)試。 |
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| 20樓: | >>參與討論 |
| 作者: epprom 于 2006/7/17 15:03:00 發(fā)布:
1.自動(dòng)測(cè)試圖形向量的意思不太懂,在測(cè)試中向量是什麼? 1.自動(dòng)測(cè)試圖形向量的意思不太懂,在測(cè)試中向量是什麼? 2.CPK與PPM的關(guān)系之中,1-side ,2-side是什麼意思?請(qǐng)教了謝謝 |
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| 21樓: | >>參與討論 |
| 作者: lyl16 于 2006/7/21 19:40:00 發(fā)布:
問好! 你好! 我是搞測(cè)試的,同行! |
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| 22樓: | >>參與討論 |
| 作者: iraq 于 2006/7/24 12:55:00 發(fā)布:
都是些基本當(dāng)?shù)貣|西 |
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| 23樓: | >>參與討論 |
| 作者: ljz7529 于 2006/8/9 18:15:00 發(fā)布:
GOOD JOB!! MEN !! Nice web!! |
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| 24樓: | >>參與討論 |
| 作者: peterwb 于 2006/8/10 9:42:00 發(fā)布:
渴望樓主可否留下QQ或MSN 十分受教 渴望樓主可否留下QQ或MSN 以求請(qǐng)教和交流哈? |
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| 25樓: | >>參與討論 |
| 作者: allenxhw 于 2006/8/15 20:39:00 發(fā)布:
回答 1-side 2-side 是CPK圖中單邊、雙邊容差的意思 在規(guī)格值中有單邊、雙邊之分的 哈哈,我也是學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)! |
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| 26樓: | >>參與討論 |
| 作者: anrui 于 2006/8/22 9:11:00 發(fā)布:
受教了 值! 得! |
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| 27樓: | >>參與討論 |
| 作者: gcqsmile 于 2006/9/7 12:59:00 發(fā)布:
好啊 謝謝 |
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| 28樓: | >>參與討論 |
| 作者: sf101mabo 于 2006/9/7 14:50:00 發(fā)布:
29878047 IC采購和交流的好去處,謝謝光臨 |
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| 29樓: | >>參與討論 |
| 作者: HT7805 于 2007/1/24 9:56:00 發(fā)布:
測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度,好像有點(diǎn)問題 文章中說: 通過計(jì)算可得:C = 1 - [Y2(1-Y1) / Y1] C:測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試可信度 Y1:初測(cè)成品率 Y2:重測(cè)后成品率 那如果我首測(cè)和重測(cè)良率都為80%,那么C=80%。不是要變的不合理。 |
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| 30樓: | >>參與討論 |
| 作者: wangxl914 于 2007/3/22 11:10:00 發(fā)布:
怎么沒內(nèi)容 怎么沒內(nèi)容 |
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| 31樓: | >>參與討論 |
| 作者: 劉亞龍 于 2007/4/22 14:52:00 發(fā)布:
看不到?? 怎么沒看到內(nèi)容?????? |
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