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請(qǐng)問(wèn)：硅外延層的生長(zhǎng)方法都是有哪些？ |
| 作者：5i5job 欄目：集成電路 |
| 2樓： | >>參與討論 |
| 作者： stupidfish 于 2005/5/26 21:02:00 發(fā)布：
可以參考一下“半導(dǎo)體制造技術(shù)”這本書(shū) |
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| 3樓： | >>參與討論 |
| 作者： leopard8 于 2005/5/29 19:42:00 發(fā)布：
外延技術(shù) 一化學(xué)氣相淀積CVD 包括PECVD RTCVD MOCVD UHVCVD及激光，可見(jiàn)光，X射線輔助CVD 二非CVD 分子束外延 離子束外延 成簇離子束外延 普遍采用熱CVD又叫氣相外延（VPE） |
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| 4樓： | >>參與討論 |
| 作者： 5i5job 于 2005/5/30 22:23:00 發(fā)布：
thanks |
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