IC--1431型硅壓阻式壓力傳感器及其應(yīng)用電路
出處：wuyiqin 發(fā)布于：2011-08-30 13:34:59 | 6175 次閱讀
IC-1431型硅壓阻式壓力傳感器，可用于表壓力、壓力、真空度和差壓的測量。此外，還可以間接測量飛機的飛行高度、飛行速度、大型儲液罐的液位、海洋的水深、氣體管道的流量、人體的血壓及呼吸壓等。
硅壓阻式壓力傳感器，是利用腐蝕工藝在單晶硅片上用擴散工藝或離子注入工藝制成一定形狀的力敏電橋。當(dāng)硅膜片收到壓力作用時，力敏電橋阻值發(fā)生變化，使電路輸出相應(yīng)的電壓信號Uo,電路如圖所示。
該壓力傳感器的硅膜上，還帶有一只增益電阻，用它的阻值大小來補償電橋的靈敏度的離散性，使傳感器具有互換性。因此這種傳感器只有6腳，如圖左側(cè)部分所示，11、12腳為測試點。
圖右側(cè)部分為帶增益嗲組RZ的經(jīng)典應(yīng)用電路，采用恒流源Io=1.5mA為IC-1431型硅壓阻式傳感器。輸出滿足量程為2V,無需在進行調(diào)整。
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