α-Fe2o3氣敏元件結構電路圖
出處：kebi216 發(fā)布于：2009-09-10 00:00:00 | 2736 次閱讀
電阻式半導體氣敏元件的敏感部分是金屬氧化物半導體微結晶粒子燒結體，它是由以金屬氧化物為基體材料，添加不同物質在高溫下繞結而成的，在燒結體的內(nèi)部還裝有測定電阻和用金及鉑材料制作的電極，氣敏元件電阻值的變化是伴隨著金屬氧化物半導體表面對氣體的吸附及釋放而發(fā)生的。為了加速這種反應，通常在氣敏元件中設置有加熱器。加熱器一般為加熱絲結構，有的直接燒結在金屬氧化物燒結體內(nèi)，有的則枷在燒結體的外部。在氣敏元件的外部還裝有不銹鋼絲網(wǎng)罩對元件進行保護。
圖:α-Fe2o3氣敏元件結構
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