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昆山雙橋推出SQPS-A100系列胎壓傳感器芯片
日前,昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司推出了SQPS-A100系列胎壓傳感器芯片。該系列傳感器用力敏芯片系采用硅微機械加工技術(shù)制造,采用壓阻原理,系絕對壓力敏感芯片,采用各向異性腐蝕技術(shù)和硅硅直接鍵合技術(shù)在硅片內(nèi)部形成一個長期穩(wěn)定的真空基準(zhǔn)壓力參考腔,在表面硅膜上用集成技術(shù)制作成惠斯頓應(yīng)變檢測全橋,從而在受力時輸出與壓力成線性關(guān)系的電壓信號。
該系列產(chǎn)品的具體技術(shù)參數(shù)如下:
▼ 標(biāo)準(zhǔn)壓力量程 100、200、700、1500、3500 KPa
▼ 最大過載能力 300 %FS
▼ 輸入輸出阻抗 5±2 KΩ
▼ 零位輸出 0±40 mV
▼ 滿量程輸出 100±40 mV
▼ 線性度 ≤±0.5 ±%FS
▼ 遲滯、重復(fù)性 ≤±0.1 %FS
▼ 未補償零位溫漂 ≤±8 ×10-4/℃.FS
▼ 恒流供電靈敏度溫漂 ≤±5 ×10-4/℃.FS
▼ 恒壓供電靈敏度溫漂 ≤-23 ×10-4/℃.FS
▼ 工作溫度范圍 -40~125 ℃
由于該系列產(chǎn)品具有:固態(tài)元件,三維集成MEMS工藝制造,可靠性高;無應(yīng)力設(shè)計與制造,嚴(yán)格自補償濃度控制,穩(wěn)定性好;微型尺寸1mm×1mm×0.5mm,單元成本競爭力強;使用方便,適合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑膠微電子封裝等特點。因此可廣泛應(yīng)用于車載輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS產(chǎn)品)以及攜帶式胎壓計、大氣壓力計;懸掛、剎車、冷媒、進氣歧管壓力等汽車壓力傳感器;空氣動力學(xué)用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器;壓力OEM元件制造等方面。
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